דרישות תעשיית המוליכים למחצה של דרישות חומר גרפיט הן גבוהות במיוחד, גודל החלקיקים העדין של הגרפיט יש דיוק גבוה, עמידות בטמפרטורה גבוהה, חוזק גבוה, אובדן קטן ויתרונות אחרים, כגון: עובש מוצרי גרפיט מרובע.כיוון שציוד הגרפיט המשמש בתעשיית המוליכים למחצה (כולל תנורי חימום ותבניות סינטרים שלהם) נדרש לעמוד בתהליכי חימום וקירור חוזרים ונשנים, על מנת להאריך את חיי השירות של ציוד גרפיט, לרוב נדרש כי לחומרי הגרפיט המשמשים יהיו ביצועים יציבים ופונקציית השפעה עמידה בחום.
01 אביזרי גרפיט לצמיחת גבישים מוליכים למחצה
כל התהליכים המשמשים לגידול גבישים מוליכים למחצה פועלים בטמפרטורה גבוהה ובסביבה קורוזיבית. האזור החם של תנור צמיחת גבישים מצויד בדרך כלל ברכיבי גרפיט עמידים בחום ועמיד בפני קורוזיה, כגון תנור חימום, כור היתוך, גליל בידוד, גליל מנחה, אלקטרודה, מחזיק כור היתוך, אום אלקטרודה וכו'.
אנו יכולים לייצר את כל חלקי הגרפיט של מכשירי ייצור קריסטל, הניתנים לספק בנפרד או בסט, או חלקי גרפיט מותאמים בגדלים שונים לפי דרישות הלקוח. ניתן למדוד את גודל המוצרים באתר, ותכולת האפר של מוצרים מוגמרים יכולה להיות פחותהיותר מ-5 עמודים לדקה.
02 אביזרי גרפיט לאפיטקסיה מוליכים למחצה
תהליך אפיטקסיאלי מתייחס לצמיחה של שכבה של חומר גבישי יחיד עם סידור סריג זהה למצע על גבי מצע יחיד. בתהליך האפיטקסיאלי, הוופל מוטען על דיסק הגרפיט. הביצועים והאיכות של דיסק הגרפיט ממלאים תפקיד חיוני באיכות השכבה האפיטקסיאלית של הפרוסה. בתחום הייצור האפיטקסיאלי יש צורך בהרבה גרפיט בטוהר גבוה במיוחד ובסיס גרפיט בטוהר גבוה עם ציפוי SIC.
לבסיס הגרפיט של החברה שלנו לאפיטקסיה מוליכים למחצה יש מגוון רחב של יישומים, יכול להתאים לרוב הציוד הנפוץ בתעשייה, ובעל טוהר גבוה, ציפוי אחיד, חיי שירות מצוינים ועמידות כימית גבוהה ויציבות תרמית.
03 אביזרי גרפיט להשתלת יונים
השתלת יונים מתייחסת לתהליך האצת קרן הפלזמה של בורון, זרחן וארסן לאנרגיה מסוימת, ולאחר מכן הזרקתה לשכבת פני השטח של חומר הפרוסה כדי לשנות את תכונות החומר של שכבת פני השטח. הרכיבים של התקן השתלת יונים יהיו עשויים מחומרים בטוהר גבוה עם עמידות מצוינת בחום, מוליכות תרמית, פחות קורוזיה הנגרמת על ידי אלומת יונים ותכולת זיהומים נמוכה. גרפיט בטוהר גבוה עונה על דרישות היישום, וניתן להשתמש בו עבור צינור הטיסה, חריצים שונים, אלקטרודות, כיסויי אלקטרודות, צינורות, מסיימים אלומה וכו' של ציוד השתלת יונים.
אנו יכולים לא רק לספק כיסוי מגן גרפיט למכונות שונות להשתלת יונים, אלא גם לספק אלקטרודות גרפיט ומקורות יונים בטוהר גבוה עם עמידות גבוהה בפני קורוזיה של מפרטים שונים. דגמים ישימים: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM וציוד נוסף. בנוסף, אנו יכולים לספק גם מוצרי קרמיקה, טונגסטן, מוליבדן, אלומיניום וחלקים מצופים תואמים.
04 חומרי בידוד גרפיט ואחרים
חומרי בידוד תרמי המשמשים בציוד לייצור מוליכים למחצה כוללים לבד גרפיט קשיח, לבד רך, נייר כסף גרפיט, נייר גרפיט וחבל גרפיט.
כל חומרי הגלם שלנו הם גרפיט מיובא, אותו ניתן לחתוך בהתאם לגודל הספציפי של דרישות הלקוח או למכור כמכלול.
מגש הפחמן-פחמן משמש כמנשא לציפוי סרט בתהליך הייצור של תאי סיליקון חד-גבישיים סולאריים ותאי סיליקון רב-גבישיים. עקרון העבודה הוא: הכנס את שבב הסיליקון למגש ה-CFC ושלח אותו לצינור התנור כדי לעבד את ציפוי הסרט.
