I requisiti dell'industria dei semiconduttori relativi ai materiali di grafite sono particolarmente elevati, la dimensione delle particelle fini di grafite ha un'elevata precisione, resistenza alle alte temperature, elevata resistenza, piccole perdite e altri vantaggi, come: stampi di prodotti in grafite sinterizzata.Poiché le apparecchiature in grafite utilizzate nell'industria dei semiconduttori (compresi i riscaldatori e le relative matrici sinterizzate) devono resistere a ripetuti processi di riscaldamento e raffreddamento, per prolungare la durata delle apparecchiature in grafite, di solito è necessario che i materiali in grafite utilizzati abbiano prestazioni stabili e funzione di impatto resistente al calore.
01 Accessori in grafite per la crescita dei cristalli semiconduttori
Tutti i processi utilizzati per far crescere i cristalli semiconduttori funzionano in ambienti ad alta temperatura e corrosivi. La zona calda del forno per la crescita dei cristalli è solitamente dotata di componenti di grafite di elevata purezza resistenti al calore e alla corrosione, come riscaldatore, crogiolo, cilindro isolante, cilindro guida, elettrodo, supporto crogiolo, dado dell'elettrodo, ecc.
Possiamo produrre tutte le parti in grafite dei dispositivi per la produzione di cristalli, che possono essere fornite singolarmente o in set, oppure parti in grafite personalizzate di varie dimensioni in base alle esigenze del cliente. La dimensione dei prodotti può essere misurata in loco e il contenuto di ceneri dei prodotti finiti può essere inferioresuperiore a 5 ppm.
02 Accessori in grafite per epitassia di semiconduttori
Il processo epitassiale si riferisce alla crescita di uno strato di materiale monocristallino con la stessa disposizione reticolare del substrato sul substrato monocristallino. Nel processo epitassiale il wafer viene caricato sul disco di grafite. Le prestazioni e la qualità del disco di grafite svolgono un ruolo fondamentale nella qualità dello strato epitassiale del wafer. Nel campo della produzione epitassiale, sono necessarie molta grafite ad altissima purezza e base in grafite ad elevata purezza con rivestimento SIC.
La base in grafite della nostra azienda per l'epitassia dei semiconduttori ha un'ampia gamma di applicazioni, può corrispondere alla maggior parte delle apparecchiature comunemente utilizzate nel settore e presenta elevata purezza, rivestimento uniforme, eccellente durata di servizio, elevata resistenza chimica e stabilità termica.
03 Accessori in grafite per l'impianto ionico
L'impianto ionico si riferisce al processo di accelerazione del fascio plasmatico di boro, fosforo e arsenico a una certa energia e quindi di iniezione nello strato superficiale del materiale del wafer per modificare le proprietà del materiale dello strato superficiale. I componenti del dispositivo di impiantazione ionica saranno realizzati con materiali di elevata purezza con eccellente resistenza al calore, conduttività termica, minore corrosione causata dal fascio ionico e basso contenuto di impurità. La grafite ad elevata purezza soddisfa i requisiti applicativi e può essere utilizzata per il tubo di volo, varie fessure, elettrodi, coperture per elettrodi, condotti, terminatori di fascio, ecc. di apparecchiature per l'impianto ionico.
Non solo possiamo fornire coperture schermanti in grafite per varie macchine per l'impianto di ioni, ma anche elettrodi in grafite di elevata purezza e sorgenti ioniche con elevata resistenza alla corrosione di varie specifiche. Modelli applicabili: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM e altre apparecchiature. Inoltre, possiamo anche fornire prodotti abbinati in ceramica, tungsteno, molibdeno, alluminio e parti rivestite.
04 Materiali isolanti in grafite e altri
I materiali di isolamento termico utilizzati nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori includono feltro duro di grafite, feltro morbido, lamina di grafite, carta di grafite e corda di grafite.
Tutte le nostre materie prime sono grafite importata, che può essere tagliata in base alle dimensioni specifiche delle esigenze del cliente o venduta intera.
Il vassoio carbonio-carbonio viene utilizzato come supporto per il rivestimento della pellicola nel processo di produzione di celle solari in silicio monocristallino e in silicio policristallino. Il principio di funzionamento è: inserire il chip di silicio nel vassoio CFC e inviarlo nel tubo del forno per elaborare il rivestimento della pellicola.
