Hver er planarization vélbúnaður CMP?

Dual-Damascene er vinnslutækni sem notuð er til að framleiða málmtengingar í samþættum hringrásum. Það er frekari þróun á Damaskus ferlinu. Með því að mynda í gegnum göt og rifa á sama tíma í sama ferlisþrepinu og fylla þau með málmi er samþætt framleiðsla á málmtengingum að veruleika.

Hvers vegna heitir það Damaskus?

Borgin Damaskus er höfuðborg Sýrlands og Damaskus sverð eru fræg fyrir skerpu sína og stórkostlega áferð. Eins konar innsetningarferli er krafist: Í fyrsta lagi er nauðsynlegt mynstur grafið á yfirborð Damaskus stáls og fyrirfram tilbúin efni eru þétt inn í grafið gróp. Eftir að innfellingunni er lokið getur yfirborðið verið svolítið ójafnt. Iðnaðarmaðurinn mun pússa það vandlega til að tryggja heildar sléttleika. Og þetta ferli er frumgerð tveggja Damaskus-ferlis flísarinnar. Fyrst eru raufar eða göt grafin í rafmagnslagið og síðan er málmur fyllt í þau. Eftir fyllingu verður umfram málmur fjarlægður með cmp.

Helstu skrefin í tvískiptu damascene ferlinu eru:

▪ Útfelling raforkulags:

Settu lag af raforkuefni, eins og kísildíoxíði (SiO2), á hálfleiðarannobláta.

▪ Ljósmyndafræði til að skilgreina mynstrið:

Notaðu ljóslithography til að skilgreina mynstur brauta og skurða á raflaginu.

▪Æsing:

Flyttu mynstrið af brautum og skurðum yfir á rafmagnslagið í gegnum þurrt eða blautt ætingarferli.

▪ Útfelling málms:

Setjið málm, eins og kopar (Cu) eða ál (Al), í gegnum brautir og skurði til að mynda málmtengingar.

▪ Efnafræðileg vélræn fægja:

Efnafræðileg vélræn fægja málmyfirborðið til að fjarlægja umfram málm og fletja yfirborðið.

Í samanburði við hefðbundið málmtengingarframleiðsluferli hefur tvískiptur damascena ferlið eftirfarandi kosti:

▪Einfalduð ferlisskref:með því að mynda brautir og skurði samtímis í sama vinnsluþrepinu, minnka vinnsluþrepin og framleiðslutíminn.

▪Bætt framleiðsluhagkvæmni:Vegna fækkunar á vinnsluþrepum getur tvískiptur damascene ferli bætt framleiðslu skilvirkni og dregið úr framleiðslukostnaði.

▪Bæta frammistöðu málmtenginga:tvöfalda damascene ferlið getur náð þrengri málmtengingum og þar með bætt samþættingu og afköst rafrása.

▪ Minnka sníkjuþol og viðnám:með því að nota lág-k raforkuefni og fínstilla uppbyggingu málmtenginga, er hægt að draga úr sníkjurýmd og viðnám, sem bætir hraða og orkunotkun rása.