Kísilkarbíðer hart efnasamband sem inniheldur sílikon og kolefni og finnst í náttúrunni sem afar sjaldgæfa steinefnið moissanite. Hægt er að tengja kísilkarbíð agnir saman með því að sintra til að mynda mjög hart keramik, sem er mikið notað í forritum sem krefjast mikillar endingar, sérstaklega í hálfleiðaravinnslu.
Líkamleg uppbygging SiC
Hvað er SiC húðun?
SiC húðun er þétt, slitþolin kísilkarbíðhúð með mikilli tæringar- og hitaþol og framúrskarandi hitaleiðni. Þessi háhreina SiC húðun er fyrst og fremst notuð í hálfleiðurum og rafeindaiðnaði til að vernda oblátur, undirstöður og hitaeiningar fyrir ætandi og hvarfgjarnum umhverfi. SiC húðun er einnig hentugur fyrir lofttæmdarofna og sýnishitun í miklu lofttæmi, hvarfefni og súrefnisumhverfi.
Mjög hreint SiC húðun yfirborð
Hvað er SiC húðunarferlið?
Þunnt lag af kísilkarbíði er sett á yfirborð undirlagsins með því að notaCVD (Chemical Vapor Deposition). Útfelling fer venjulega fram við hitastig 1200-1300°C og varmaþensluhegðun undirlagsefnisins ætti að vera í samræmi við SiC húðina til að lágmarka hitaálag.
CVD SIC húðun FILM CRYSTAL STRUCTURE
Eðliseiginleikar SiC húðunar endurspeglast aðallega í háhitaþol, hörku, tæringarþol og hitaleiðni.
Dæmigert líkamleg færibreytur eru venjulega sem hér segir:
hörku: SiC húðun hefur venjulega Vickers hörku á bilinu 2000-2500 HV, sem gefur þeim mjög mikla slit- og höggþol í iðnaðarnotkun.
Þéttleiki: SiC húðun hefur venjulega þéttleika 3,1-3,2 g/cm³. Hár þéttleiki stuðlar að vélrænni styrk og endingu lagsins.
Varmaleiðni: SiC húðun hefur mikla hitaleiðni, venjulega á bilinu 120-200 W/mK (við 20°C). Þetta gefur því góða hitaleiðni í háhitaumhverfi og gerir það sérstaklega hentugur fyrir hitameðhöndlunarbúnað í hálfleiðaraiðnaði.
Bræðslumark: kísilkarbíð hefur bræðslumark um það bil 2730°C og hefur framúrskarandi hitastöðugleika við mikla hitastig.
Hitastækkunarstuðull: SiC húðun hefur lágan línulegan hitastuðul (CTE), venjulega á bilinu 4,0-4,5 µm/mK (á bilinu 25-1000 ℃). Þetta þýðir að víddarstöðugleiki þess er frábær yfir mikinn hitamun.
Tæringarþol: SiC húðun er einstaklega ónæm fyrir tæringu í sterkri sýru, basa og oxandi umhverfi, sérstaklega þegar sterkar sýrur eru notaðar (eins og HF eða HCl), tæringarþol þeirra er langt umfram hefðbundin málmefni.
SiC húðun er hægt að bera á eftirfarandi efni:
Háhreinleiki jafnstöðugræn grafít (lágt CTE)
Volfram
Mólýbden
Kísilkarbíð
Kísilnítríð
Kolefni-kolefni samsett efni (CFC)
SiC húðaðar vörur eru almennt notaðar á eftirfarandi sviðum:
LED flís framleiðsla
Pólýkísilframleiðsla
Hálfleiðarikristalvöxtur
Kísill ogSiC epitaxy
Hitameðferð á oblátu og ætingu
Af hverju að velja VET Energy?
VET Energy er leiðandi framleiðandi, frumkvöðull og leiðandi á SiC húðunarvörum í Kína, helstu SiC húðunarvörur eru m.a.obláta burðarefni með SiC húðun, SiC húðuðepitaxial susceptor, SiC húðaður grafíthringur, Hálfmánarhlutar með SiC húðun, SiC húðuð kolefni-kolefni samsetning, SiC húðaður oblátabátur, SiC húðaður hitari, o.fl. VET Energy hefur skuldbundið sig til að veita hálfleiðaraiðnaðinum fullkomna tækni og vörulausnir og styður sérsniðna þjónustu. Við hlökkum einlæglega til að vera langtíma félagi þinn í Kína.
Ef þú hefur einhverjar fyrirspurnir eða þarft frekari upplýsingar skaltu ekki hika við að hafa samband við okkur.
Whatsapp & Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Pósttími: 18-10-2024