Grafít með TaC húðun

I. Könnun á færibreytum ferli

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar kerfi

2. Útfellingarhitastig:

Samkvæmt varmafræðilegu formúlunni er reiknað út að þegar hitastigið er hærra en 1273K er Gibbs frjáls orka hvarfsins mjög lág og hvarfið er tiltölulega lokið. Viðbragðsfastinn KP er mjög stór við 1273K og eykst hratt með hitastigi og vaxtarhraðinn hægir smám saman við 1773K.

Áhrif á yfirborðsform lagsins: Þegar hitastigið hentar ekki (of hátt eða of lágt) sýnir yfirborðið lausa kolefnisform eða lausar svitaholur.

(1) Við háan hita er hreyfihraði virku hvarfefnaatómanna eða hópanna of hraður, sem mun leiða til ójafnrar dreifingar við uppsöfnun efna og ríku og fátæku svæðin geta ekki breytzt mjúklega, sem leiðir til svitahola.

(2) Það er munur á hitahvarfshraða alkana og minnkunarhvarfshraða tantalpentaklóríðs. Grænukolefnið er of mikið og ekki er hægt að sameina það með tantal í tíma, sem leiðir til þess að yfirborðið er umvafið kolefni.

Þegar hitastigið er viðeigandi, yfirborðið áTaC húðuner þétt.

TaCagnir bráðna og safnast saman, kristalformið er fullkomið og kornamörkin breytast mjúklega.

3. Vetnishlutfall:

Að auki eru margir þættir sem hafa áhrif á gæði húðunar:

-Gæði yfirborðs undirlags

-Útfallsgassvæði

-Hvef einsleitni blöndunar hvarfefnagass

II. Dæmigerðir gallar átantalkarbíð húðun

1. Húðun sprunga og flögnun

Línulegur varmaþenslustuðull Línulegur CTE:

2. Gallagreining:

(1) Orsök:

(2) Einkennisaðferð

① Notaðu röntgengeislunartækni til að mæla afgangsálagið.

② Notaðu lögmál Hu Ke til að nálgast afgangsspennuna.

(3) Tengdar formúlur

3.Auka vélrænni eindrægni lagsins og undirlagsins

(1) Vaxtarhúð yfirborðs á staðnum

Hitaviðbragðsútfelling og dreifingartækni TRD

Bráðið salt ferli

Einfaldaðu framleiðsluferlið

Lækkaðu hvarfhitastigið

Tiltölulega lægri kostnaður

Umhverfisvænni

Hentar vel fyrir stóriðjuframleiðslu

(2) Samsett umbreytingarhúð

Meðaflagningarferli

CVDferli

Fjölþátta húðun

Að sameina kosti hvers íhluta

Stilltu húðunarsamsetningu og hlutfall á sveigjanlegan hátt

4. Hitaviðbragðsútfelling og dreifingartækni TRD

(1) Viðbragðsbúnaður

TRD tækni er einnig kölluð innfellingarferli, sem notar bórsýru-tantalpentoxíð-natríumflúoríð-bóroxíð-bórkarbíðkerfi til að undirbúatantalkarbíð húðun.

① Bráðin bórsýra leysir upp tantalpentoxíð;

② Tantalpentoxíð minnkar í virk tantalatóm og dreifist á grafítyfirborðið;

③ Virk tantal atóm aðsogast á grafítyfirborðinu og hvarfast við kolefnisatóm til að myndatantalkarbíð húðun.

(2) Viðbragðslykill

Gerð karbíðhúðarinnar verður að uppfylla kröfuna um að oxunarmyndunarlaus orka frumefnisins sem myndar karbíðið sé meiri en bóroxíðs.

Gibbs frí orka karbíðsins er nógu lág (annars getur bór eða boríð myndast).

Tantalpentoxíð er hlutlaust oxíð. Í háhita bráðnu borax getur það hvarfast við sterka basíska oxíðið natríumoxíð til að mynda natríumtantalat og þar með lækkað upphafshitastig hvarfsins.