Í gufufasa epitaxy (VPE) ferlinu er hlutverk stallsins að styðja við undirlagið og tryggja jafna upphitun meðan á vaxtarferlinu stendur. Mismunandi gerðir af stalli henta fyrir mismunandi vaxtarskilyrði og efniskerfi. Eftirfarandi eru nokkrar af algengustu gerðum stalla í gufufasaepitaxy:
Tunnu stallur
Tunnustólpar eru almennt notaðir í láréttum eða hallandi gufufasa kerfi. Þeir geta haldið undirlaginu og leyft gasinu að flæða yfir undirlagið, sem hjálpar til við að ná samræmdum epitaxial vexti.
Disklaga pallur (lóðréttur pallur)
Skífulaga stallar eru hentugir fyrir lóðrétt gufufasa epitaxy kerfi, þar sem undirlagið er sett lóðrétt. Þessi hönnun hjálpar til við að minnka snertiflöturinn á milli undirlagsins og susceptorsins og dregur þannig úr hitatapi og hugsanlegri mengun.
Lárétt susceptor
Láréttir susceptors eru sjaldgæfari í gufufasa þekju, en geta verið notaðir í sumum sérstökum vaxtarkerfum til að leyfa þekjuvöxt í lárétta átt.
Monolithic epitaxial reaction susceptor
Einlita epitaxial viðbrögð susceptor er hannaður fyrir eitt hvarfefni, sem getur veitt nákvæmari hitastýringu og betri hitaeinangrun, hentugur fyrir vöxt hágæða epitaxial laga.
Verið velkomin á heimasíðu okkar til að fá upplýsingar um vörur og ráðgjöf.
Vefsíðan okkar: https://www.vet-china.com/
Birtingartími: 30. júlí 2024