Ákjósanlegasta efnið fyrir nákvæma hluta ljósprentunarvéla
Á hálfleiðara sviði,kísilkarbíð keramikefni eru aðallega notuð í lykilbúnaði til framleiðslu á samþættum hringrásum, svo sem kísilkarbíð vinnuborði, stýrisbrautum,endurskinsmerki, keramik sog chuck, armar, slípidiskar, festingar o.s.frv. fyrir steinþrykkvélar.
Kísilkarbíð keramikhlutarfyrir hálfleiðara og ljósbúnað
● Kísilkarbíð keramik mala diskur. Ef malaskífan er úr steypujárni eða kolefnisstáli er endingartími hans stuttur og varmaþenslustuðullinn stór. Við vinnslu á kísilskífum, sérstaklega við háhraða slípun eða fægja, gerir slit og hitauppstreymi slípidisksins erfitt að tryggja flatleika og samhliða kísilskífuna. Slípidiskurinn úr kísilkarbíð keramik hefur mikla hörku og lítið slit og varmaþenslustuðullinn er í grundvallaratriðum sá sami og kísilskífa, þannig að hægt er að mala hann og fáður á miklum hraða.
● Kísilkarbíð keramik festing. Þar að auki, þegar kísilplötur eru framleiddar, þurfa þær að gangast undir háhita hitameðhöndlun og eru oft fluttar með kísilkarbíðfestingum. Þau eru hitaþolin og ekki eyðileggjandi. Demantalíkt kolefni (DLC) og önnur húðun er hægt að bera á yfirborðið til að auka afköst, draga úr skemmdum á flísum og koma í veg fyrir að mengun dreifist.
● Kísilkarbíð vinnuborð. Með því að taka vinnuborðið í steinþrykkjavélinni sem dæmi, þá er vinnuborðið aðallega ábyrgt fyrir því að klára útsetningarhreyfinguna, sem krefst háhraða, stórs höggs, sex frelsisgráðu nanó-stigs ofurnákvæmni hreyfingar. Til dæmis, fyrir steinþrykkjavél með 100 nm upplausn, 33 nm yfirborðsnákvæmni og 10 nm línubreidd, þarf vinnuborðsstaðsetningarnákvæmni til að ná 10 nm, samtímis stiga- og skönnunarhraði grímu-kísilskífunnar er 150 nm/s og 120nm/s í sömu röð og grímuskönnunarhraði er nálægt 500nm/s og vinnuborðið þarf að hafa mjög mikla hreyfinákvæmni og stöðugleika.
Skýringarmynd af vinnuborðinu og örhreyfingarborðinu (að hluta til)
● Kísilkarbíð keramik ferningur spegill. Lykilhlutar í lykilbúnaði fyrir samþættan hringrás eins og steinþrykkvélar hafa flókin lögun, flókin stærð og holar léttar byggingar, sem gerir það erfitt að útbúa slíka kísilkarbíð keramikhluta. Eins og er, nota almennir alþjóðlegir framleiðendur samþættra rafrásabúnaðar, eins og ASML í Hollandi, NIKON og CANON í Japan, mikið magn af efnum eins og örkristallað gler og cordierite til að útbúa ferkantaða spegla, kjarnahluta steinprentunarvéla og nota kísilkarbíð. keramik til að undirbúa aðra afkastamikla burðarhluta með einföldum formum. Hins vegar hafa sérfræðingar frá Kína byggingarefnisrannsóknarstofnuninni notað sérsniðna undirbúningstækni til að búa til stórar, flóknar lagaðar, mjög léttar, fullkomlega lokaðar kísilkarbíð keramik ferningsspeglar og aðra burðarvirka og hagnýta sjónhluta fyrir steinþrykkvélar.
Pósttími: 10-10-2024