Hálfleiðara iðnaður kröfur grafít efni kröfur eru sérstaklega miklar, fínn kornastærð grafít hefur mikla nákvæmni, hár hiti viðnám, hár styrkur, lítið tap og aðrir kostir, svo sem: hertu grafít vörur mold.Vegna þess að grafítbúnaðurinn sem notaður er í hálfleiðaraiðnaðinum (þar á meðal hitari og hertu deyjur þeirra) þarf að standast endurtekna upphitunar- og kælingarferli, til að lengja endingartíma grafítbúnaðar, er venjulega krafist að grafítefnin sem notuð eru hafi stöðuga afköst. og hitaþolin höggvirkni.
01 Grafít aukabúnaður fyrir hálfleiðara kristalvöxt
Öll ferli sem notuð eru til að rækta hálfleiðara kristalla starfa við háan hita og ætandi umhverfi. Heita svæði kristalvaxtarofnsins er venjulega búið hitaþolnum og tæringarþolnum grafíthlutum af háum hreinleika, svo sem hitari, deiglu, einangrunarhólk, stýrihólk, rafskaut, deigluhaldara, rafskautshnetu osfrv.
Við getum framleitt alla grafíthluta kristalframleiðslutækja, sem hægt er að útvega sér eða í settum, eða sérsniðna grafíthluta af ýmsum stærðum í samræmi við kröfur viðskiptavina. Stærð vöru er hægt að mæla á staðnum og öskuinnihald fullunnar vöru getur verið minnaen 5ppm.
02 Grafít aukahlutir fyrir hálfleiðara epitaxy
Epitaxial ferli vísar til vaxtar lags af einskristal efni með sama grindarfyrirkomulagi og undirlagið á einkristalla undirlaginu. Í epitaxial ferlinu er oblátið hlaðið á grafítskífuna. Afköst og gæði grafítdisksins gegna mikilvægu hlutverki í gæðum epitaxial lagsins á oblátunni. Á sviði epitaxial framleiðslu þarf mikið af ofurhreinu grafíti og háhreinleika grafítgrunni með SIC húðun.
Grafítgrunnur fyrirtækisins okkar fyrir hálfleiðara-epitaxy hefur mikið úrval af forritum, getur passað við flest almennan búnað í greininni og hefur mikinn hreinleika, einsleita húð, framúrskarandi endingartíma og mikla efnaþol og hitastöðugleika.
03 Grafít aukabúnaður fyrir jónaígræðslu
Ígræðsla jóna vísar til þess ferlis að hraða plasmageisla bórs, fosfórs og arsens í ákveðna orku og sprauta því síðan inn í yfirborðslag oblátaefnisins til að breyta efniseiginleikum yfirborðslagsins. Íhlutir jónaígræðslubúnaðarins skulu vera úr háhreinu efni með framúrskarandi hitaþol, hitaleiðni, minni tæringu af völdum jóngeisla og lítið óhreinindi. Háhreint grafít uppfyllir umsóknarkröfur og er hægt að nota fyrir flugrör, ýmsar raufar, rafskaut, rafskautshlífar, leiðslur, geislaloka osfrv. jónaígræðslubúnaðar.
Við getum ekki aðeins útvegað grafíthlífarhlíf fyrir ýmsar jónaígræðsluvélar, heldur einnig útvegað háhreint grafít rafskaut og jónagjafa með mikilli tæringarþol af ýmsum forskriftum. Gildandi gerðir: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM og annar búnaður. Að auki getum við einnig útvegað samsvarandi keramik, wolfram, mólýbden, álvörur og húðaða hluta.
04 Grafít einangrunarefni og önnur
Hitaeinangrunarefni sem notuð eru í hálfleiðaraframleiðslubúnaði eru grafítharður filt, mjúkur filt, grafítþynna, grafítpappír og grafítreipi.
Allt hráefni okkar er innflutt grafít, sem hægt er að skera í samræmi við sérstakar stærðir af kröfum viðskiptavina eða selt í heild.
Kolefnis-kolefnisbakkinn er notaður sem burðarefni fyrir filmuhúð í framleiðsluferli sólar einkristallaðs sílikons og fjölkristallaðra sílikonsfrumna. Vinnureglan er: Settu kísilflöguna í CFC bakkann og sendu hana inn í ofnrörið til að vinna úr filmuhúðinni.
