Kedu ihe kpatara akụkụ akụkụ na-ehulata n'oge etching akọrọ?

Adịghị agbanwe agbanwe nke bọmbụ ion

Akọrọetchingna-abụkarị usoro na-ejikọta mmetụta anụ ahụ na nke kemịkal, nke bombu ion bụ usoro etching anụ ahụ dị mkpa. N'ogeusoro etching, akụkụ ihe merenụ na ikesa ion nwere ike ghara ịdị n'otu.

Ọ bụrụ na akụkụ ihe mere ion dị iche na ọnọdụ dị iche iche na sidewall, mmetụta etching nke ions na sidewall ga-adịkwa iche. N'ebe ndị nwere akụkụ ion buru ibu, mmetụta etching nke ions dị n'akụkụ akụkụ ahụ na-esiwanye ike, nke ga-eme ka akụkụ dị n'akụkụ ebe a na-agbanyekwu, na-eme ka akụkụ ahụ na-ehulata. Na mgbakwunye, nkesa na-enweghị isi nke ike ion ga-emepụtakwa mmetụta yiri nke ahụ. Ions nwere ike dị elu nwere ike iwepụ ihe ndị ọzọ nke ọma, na-ebute enweghị nkwekọrịtaetchingogo nke sidewall na ọnọdụ dị iche iche, nke na-eme ka akụkụ akụkụ ahụ na-ehulata.

Mmetụta nke photoresist

Photoresist na-arụ ọrụ nke nkpuchi na akọrọ etching, na-echebe ebe na-adịghị mkpa ka etched. Otú ọ dị, photoresist na-emetụtakwa bọmbụ plasma na mmeghachi omume kemịkalụ n'oge usoro etching, na arụmọrụ ya nwere ike gbanwee.

Ọ bụrụ na ọkpụrụkpụ nke photoresist bụ nke na-adịghị mma, ọnụ ọgụgụ oriri n'oge usoro etching adịghị ekwekọ, ma ọ bụ nchikota n'etiti fotoresist na mkpụrụ dị iche iche na ebe dị iche iche, ọ nwere ike iduga nchebe na-enweghị isi nke akụkụ akụkụ n'oge usoro etching. Dịka ọmụmaatụ, ebe ndị nwere fotoresist dị gịrịgịrị ma ọ bụ nrapado na-esighị ike nwere ike ime ka ihe dị n'okpuru ya dị mfe ka ọ dị mfe, na-eme ka akụkụ akụkụ ahụ gbadaa n'ebe ndị a.

Ọdịiche dị na akụrụngwa akụrụngwa

Ihe a kpụrụ akpụ n'onwe ya nwere ike ịnwe ihe dị iche iche, dị ka ntụgharị kristal dị iche iche na ntinye doping na mpaghara dị iche iche. Ndịiche ndị a ga-emetụta ọnụ ọgụgụ etching na etching selectivity.
Dịka ọmụmaatụ, na silicon crystalline, nhazi nke atom silicon na ntụgharị kristal dị iche iche dị iche, na mmeghachi omume ha na etching na gas etching ga-adịkwa iche. N'oge usoro etching, ọnụ ọgụgụ dị iche iche nke etching na-akpata site na ọdịiche dị na ihe onwunwe ga-eme ka etching dị omimi nke akụkụ dị n'akụkụ ebe dị iche iche na-ekwekọghị ekwekọ, n'ikpeazụ na-eduga n'akụkụ akụkụ.

Ihe metụtara akụrụngwa

Ọrụ na ọnọdụ nke akụrụngwa etching nwekwara mmetụta dị mkpa na nsonaazụ etching. Dịka ọmụmaatụ, nsogbu dị ka nkesa plasma na-enweghị isi na ụlọ mmeghachi omume na akwa electrode na-enweghị isi nwere ike iduga na-ekesa nke ọma dịka njupụta ion na ike n'elu wafer n'oge etching.

Tụkwasị na nke ahụ, njikwa okpomọkụ na-adịghị mma nke akụrụngwa na ntakịrị mgbanwe nke ikuku gas nwekwara ike imetụta ịdị n'otu nke etching, na-eduga n'igbu akụkụ.