Kedu ihe bụ usoro nhazi nke CMP?

Dual-Damascene bụ nkà na ụzụ usoro eji arụkọta njikọ igwe na sekit agbakwunyere. Ọ bụ mmepe ọzọ nke usoro Damaskọs. Site na-akpụ site na oghere na grooves n'otu oge na otu usoro nzọụkwụ na-ejuputa ha na metal, agbakwunyere n'ichepụta metal interconnects na-ghọtara.

Gịnị mere e ji kpọ ya Damaskọs?

Obodo Damaskọs bụ isi obodo Siria, mma agha Damaskọs bụkwa ndị a ma ama maka ịdị nkọ na ọdịdị mara mma ha. A na-achọ ụdị usoro inlay: nke mbụ, a na-ese ụkpụrụ a chọrọ n'elu nchara Damaskọs, a na-etinyekwa ihe ndị a kwadebere nke ọma n'ime oghere ndị a kanyere. Mgbe emechara inlay ahụ, elu ahụ nwere ike bụrụ nke na-adịghị mma. Onye omenkà ahụ ga-eji nlezianya na-ehicha ya iji hụ na ire ụtọ n'ozuzu ya. Na usoro a bụ prototype nke dual Damaskọs usoro nke mgbawa. Nke mbụ, a na-akanye oghere ma ọ bụ oghere na oyi akwa dielectric, mgbe ahụ, a na-ejupụta ígwè n'ime ha. Mgbe emejuchara, a ga-ewepụ ọla ahụ gafere site na cmp.

Isi usoro nke usoro damascene dual gụnyere:

▪ Ndobe oyi akwa dielectric:

Tinye akwa akwa nke ihe dielectric, dị ka silicon dioxide (SiO2), na semiconductorwafer.

▪ Foto iji kọwaa ụkpụrụ a:

Jiri fotolithography kọwaa ụkpụrụ nke vias na trenches na oyi akwa dielectric.

▪Etching:

Nyefee ụkpụrụ nke vias na trenches na dielectric oyi akwa site akọrọ ma ọ bụ mmiri etching usoro.

▪ Ntụnye igwe:

Nkwụnye ego ọla, dị ka ọla kọpa (Cu) ma ọ bụ aluminom (Al), na vias na trenches na-etolite metal njikọ.

▪ Kemịkalụ n'ibu polishing:

Kemịkalụ n'ibu polishing nke metal elu iji wepụ ngafe metal na gbadaa n'elu.

E jiri ya tụnyere usoro nrụpụta njikọ njikọta igwe ọdịnala, usoro damascene dual nwere uru ndị a:

▪ Usoro usoro dị mfe:site na-akpụ vias na trenches n'out oge na otu usoro nzọụkwụ, usoro nzọụkwụ na n'ichepụta oge na-ebelata.

▪ Ịrụpụta arụmọrụ emelitere:n'ihi mbelata usoro usoro, usoro damascene dual nwere ike imeziwanye nrụpụta nrụpụta ma belata ụgwọ ọrụ mmepụta.

▪Melite arụmọrụ nke njikọta igwe:Usoro damascene dual nwere ike nweta njikọ njikọ metal dị warara, si otú a na-emezi njikọ na arụmọrụ nke sekit.

▪ Belata ikike na iguzogide nje parasitic:site n'iji ihe dielectric dị ala-k na ịkwalite nhazi nke njikọ njikọ ígwè, ikike parasitic na nguzogide nwere ike ibelata, na-eme ka ọsọ na ike oriri na-arụ ọrụ nke sekit.