Thermal Oxidation nke Single Crystal Silicon

Nhazi nke silicon dioxide n'elu silicon ka a na-akpọ oxidation, na imepụta silicon dioxide kwụsiri ike na nke siri ike butere ọmụmụ nke teknụzụ atụmatụ sekit nke silicon. Ọ bụ ezie na e nwere ọtụtụ ụzọ isi too silicon dioxide ozugbo n'elu silicon, ọ na-emekarị site na thermal oxidation, nke bụ ikpughe silicon na ebe okpomọkụ dị elu (oxygen, mmiri). Ụzọ oxidation thermal nwere ike ijikwa ọkpụrụkpụ ihe nkiri na njirimara interface silicon / silicon dioxide n'oge nkwadebe nke ihe nkiri silicon dioxide. Usoro ndị ọzọ na-eto eto silicon dioxide bụ plasma anodization na mmiri anodization, ma ọ dịghị nke usoro ndị a ọtụtụ ebe na-eji na VLSI usoro.

Silicon na-egosi ọchịchọ ịmepụta silicon dioxide kwụsiri ike. Ọ bụrụ na ekpughere silicon nke a kụwara ọhụrụ na gburugburu oxidizing (dị ka oxygen, mmiri), ọ ga-etolite oyi akwa oxide dị ezigbo mkpa (<20Å) ọbụlagodi na okpomọkụ ụlọ. Mgbe silicon na-ekpughere gburugburu oxidizing na oke okpomọkụ, a ga-emepụta oyi akwa oxide na-agba ọsọ ọsọ ọsọ. Aghọtara nke ọma usoro ihe eji eme silicon dioxide sitere na silicon. Deal na Grove mepụtara usoro mgbakọ na mwepụ nke na-akọwa n'ụzọ ziri ezi n'ụzọ ziri ezi uto ike nke ihe nkiri oxide karịa 300Å. Ha tụrụ aro na a na-eme oxidation n'ụzọ dị otú a, ya bụ, oxidant (mkpụrụ ndụ mmiri na oxygen molecules) na-agbasa site na oyi akwa oxide dị na interface Si / SiO2, ebe oxidant na-emeghachi na silicon iji mepụta silicon dioxide. A na-akọwa mmeghachi omume bụ isi maka ịmepụta silicon dioxide dị ka ndị a:

Mmeghachi omume oxidation na-eme na interface Si / SiO2, yabụ mgbe oyi akwa oxide na-etolite, silicon na-aga n'ihu na interface ahụ ji nwayọọ nwayọọ na-awakpo silicon. Dị ka njupụta kwekọrọ ekwekọ na molekụla ịdị arọ nke silicon na silicon dioxide, a pụrụ ịhụ na silicon riri maka ọkpụrụkpụ nke ikpeazụ oxide oyi akwa bụ 44%. N'ụzọ dị otú a, ọ bụrụ na oyi akwa oxide na-eto 10,000Å, 4400Å nke silicon ga-eri. Mmekọrịta a dị mkpa maka ịgbakọ elu nke nzọụkwụ ndị e guzobere nasilicon wafer. Nzọụkwụ ndị a bụ nsonaazụ nke ọnụọgụ oxidation dị iche iche na ebe dị iche iche na elu silicon wafer.

Anyị na-enyekwa ngwaahịa graphite dị ọcha na silicon carbide, nke a na-ejikarị na nhazi wafer dị ka oxidation, mgbasa, na annealing.

Nabata ndị ahịa ọ bụla si n'akụkụ ụwa niile ka ha bịa leta anyị maka mkparịta ụka ọzọ!

https://www.vet-china.com/