A chọrọ ụfọdụ ihe organic na inorganic iji sonye na nrụpụta semiconductor. Na mgbakwunye, ebe ọ bụ na a na-eme usoro ahụ mgbe niile n'ime ụlọ dị ọcha na ntinye aka nke mmadụ, semiconductorwaferna-apụghị izere ezere na-emerụ site na adịghị ọcha dị iche iche.
Dị ka isi mmalite na ọdịdị nke mmetọ ahụ si dị, enwere ike kewaa ha n'ụzọ anọ: irighiri ihe, organic okwu, ion metal na oxides.
1. Akụkụ:
Akụkụ bụ tumadi ụfọdụ polymers, photoresists na etching adịghị ọcha.
Ihe mmetọ ndị dị otú ahụ na-adaberekarị na ike intermolecular iji gbasaa n'elu wafer, na-emetụta nguzobe nke ọnụ ọgụgụ geometric na paramita eletriki nke usoro fotolithography ngwaọrụ.
A na-ewepụ ihe mmetọ dị otú ahụ site na iji nwayọọ nwayọọ belata ebe ha na-akpakọrịta na elu nkewafersite n'ụzọ anụ ahụ ma ọ bụ kemịkalụ.
2. Ihe na-emepụta ihe:
Isi mmalite nke adịghị ọcha na-adịchaghị obosara, dị ka mmanụ anụ ahụ mmadụ, nje bacteria, mmanụ igwe, griiz vacuum, photoresist, ihicha ihe mgbaze, wdg.
Ihe mmetọ ndị dị otú ahụ na-emekarị ihe nkiri organic n'elu wafer iji gbochie mmiri mmiri na-ehicha ahụ ka ọ ghara iru n'elu wafer, na-eme ka ihicha ezughị ezu nke wafer ahụ.
A na-emekarị mkpochapụ nke ihe ndị dị otú ahụ na nzọụkwụ mbụ nke usoro nhicha ahụ, karịsịa na-eji usoro kemịkal dị ka sulfuric acid na hydrogen peroxide.
3. ion igwe:
Ihe ndị na-adịghị ọcha na-emekarị na-agụnye ígwè, ọla kọpa, aluminum, chromium, nkedo ígwè, titanium, sodium, potassium, lithium, wdg. Ebe ndị bụ isi bụ arịa dị iche iche, ọkpọkọ, reagents kemịkalụ, na mmetọ ígwè nke a na-emepụta mgbe a na-emepụta njikọ ígwè n'oge nhazi.
A na-ewepụkarị ụdị adịghị ọcha a site na usoro kemịkalụ site na nhazi nke ion complexes.
4. oxide:
Mgbe semiconductorwaferna-ekpughe na gburugburu ebe nwere oxygen na mmiri, a eke oxide oyi akwa ga-etolite n'elu. Ihe nkiri oxide a ga-egbochi ọtụtụ usoro na nrụpụta semiconductor ma nwee ụfọdụ adịghị ọcha ọla. N'okpuru ọnọdụ ụfọdụ, ha ga-etolite ntụpọ eletrik.
Mwepụ nke ihe nkiri oxide a na-emekarị site n'itinye n'ime mmiri hydrofluoric acid.
Usoro nhicha izugbe
Ihe ndị na-adịghị ọcha na-agbasa n'elu semiconductorwaferenwere ike kewaa ụzọ atọ: molecular, ionic na atomic.
N'ime ha, ike mgbasa ozi dị n'etiti ihe ndị na-adịghị mma na ihe ndị dị n'elu wafer adịghị ike, na ụdị adịghị ọcha a dị mfe iwepụ. Ha na-abụkarị ihe na-adịghị mma mmanu mmanu nwere njirimara hydrophobic, nke nwere ike inye masking maka ionic na atomiki adịghị ọcha nke na-emerụ elu nke semiconductor wafers, nke na-adịghị akwado iwepụ ụdị abụọ ndị a adịghị ọcha. Ya mere, mgbe kemịkalụ na-ehicha wafers semiconductor, a ga-ebu ụzọ wepụ ihe ndị na-adịghị ọcha molekul.
Ya mere, usoro izugbe nke semiconductorwaferUsoro nhicha bụ:
De-molecularization-deionization-de-atomization-deionized mmiri rinsing.
Na mgbakwunye, iji wepụ oyi akwa oxide nke dị n'elu wafer ahụ, ọ dị mkpa ka a gbakwụnye usoro ntinye amino acid dị nro. Ya mere, echiche nke ihicha bụ mbụ wepụ organic mmetọ n'elu; wee gbazee oyi akwa oxide; n'ikpeazụ wepụ ahụ na metal mmetọ, na passivate elu n'otu oge.
Ụzọ ihicha nkịtị
A na-ejikarị ụzọ kemịkalụ ihicha wafers semiconductor.
Chemical nhicha na-ezo aka na usoro nke iji dị iche iche chemical reagents na organic solvents meghachi omume ma ọ bụ igbari adịghị ọcha na mmanụ stains n'elu nke wafer ka desorb adịghị ọcha, na mgbe ahụ itucha na nnukwu ego nke elu-ọcha na-ekpo ọkụ na oyi deionized mmiri iji nweta. elu dị ọcha.
Enwere ike ekewa ihicha kemịkalụ n'ime ihicha kemịkalụ mmiri na ihicha kemịkalụ akọrọ, n'ime nke nhicha kemịkalụ mmiri ka na-achị.
Nhicha kemịkalụ mmiri
1. Nhicha kemịkalụ mmiri:
Nhicha kemịkalụ mmiri na-agụnye imikpu ihe ngwọta, nchacha igwe, nhicha ultrasonic, nhicha megasonic, spraying rotary, wdg.
2. Ngwọta imikpu:
Nmikpu ngwọta bụ ụzọ isi wepụ mmetọ elu site n'itinye wafer na ngwọta kemịkal. Ọ bụ usoro a na-ejikarị na-ehicha kemịkalụ mmiri. Enwere ike iji ihe ngwọta dị iche iche wepụ ihe dị iche iche nke mmetọ n'elu wafer.
Ọtụtụ mgbe, usoro a enweghị ike iwepụ ihe ndị na-adịghị ọcha n'elu wafer kpamkpam, ya mere, a na-ejikarị usoro anụ ahụ dị ka ikpo ọkụ, ultrasound, na ịkpali mgbe ị na-emikpu.
3. Ntucha igwe:
A na-ejikarị ịhịa aka n'ibu wepụ ihe ndị dị n'elu wafer. Enwere ike kewaa ya ụzọ abụọ:ịhịa aka n'aka na ịchachaa site na nhichapụ.
Ichacha akwụkwọ ntuziakabụ usoro nchacha kacha mfe. A na-eji ahịhịa igwe anaghị agba nchara jide bọọlụ nke etinyere na ethanol anhydrous ma ọ bụ ihe ndị ọzọ na-edozi ahụ ma jiri nwayọọ na-ete elu nke wafer n'otu ụzọ ahụ iji wepụ ihe nkiri wax, uzuzu, gluu ma ọ bụ ihe ndị ọzọ siri ike. Usoro a dị mfe ime ka ọkpụkpụ na mmetọ dị njọ.
Onye na-ehicha ihe na-eji ntụgharị ígwè arụ ọrụ iji jiri ahịhịa ajị anụ dị nro ma ọ bụ ahịhịa na-agwakọta mee ihe n'elu wafer. Usoro a na-ebelata oke ncha na wafer. Ihe nhicha dị elu agaghị ehichapụ wafer n'ihi enweghị esemokwu n'ibu, ma nwee ike iwepụ mmetọ ahụ na oghere.
4. Ultrasonic nhicha:
Ultrasonic nhicha bụ usoro ihicha nke a na-ejikarị na ụlọ ọrụ semiconductor. Uru ya bụ mmetụta nhicha dị mma, ọrụ dị mfe, yana nwekwara ike ihicha ngwaọrụ dị mgbagwoju anya na arịa.
Usoro ihicha a dị n'okpuru ọrụ nke ebili mmiri ultrasonic siri ike (mgbe ultrasonic a na-ejikarị eme ihe bụ 20s40kHz), na akụkụ ndị na-adịghị ahụkebe na oke ga-emepụta n'ime mmiri mmiri. Akụkụ ahụ dị ntakịrị ga-emepụta afụ oghere oghere fọrọ nke nta ka ọ bụrụ oghere. Mgbe afụ oghere ahụ ga-apụ n'anya, a ga-enwe nrụgide mpaghara siri ike n'akụkụ ya, na-agbaji njikọ kemịkalụ dị na ụmụ irighiri ihe iji gbazee adịghị ọcha dị n'elu wafer. Ultrasonic ihicha kacha dị irè maka iwepu insoluble ma ọ bụ insoluble flux residues.
5. Megasonic nhicha:
Megasonic ihicha ọ bụghị naanị nwere uru nke nhicha ultrasonic, ma na-emerikwa adịghị ike ya.
Megasonic ihicha bụ ụzọ ihicha wafers site na ijikọta ike-ike (850kHz) ugboro vibration mmetụta na mmeghachi omume kemịkalụ nke kemịkalụ ihicha ihe. N'oge a na-ehicha ihe, igwe megasonic na-eme ka ụmụ irighiri ihe ngwọta dịkwuo elu (oke ọsọ ọsọ nwere ike iru 30cmVs), na mmiri na-agba ọsọ na-anọgide na-emetụta elu nke wafer, nke mere na ihe ndị na-emerụ emerụ na ihe ndị dị mma jikọtara n'elu. A na-ewepụ wafer n'ike ma banye na ngwọta nhicha. Ịgbakwunye acidic surfactants na ngwọta ihicha, n'otu aka ahụ, nwere ike nweta nzube nke iwepụ ihe ndị na-emepụta ihe na ihe ndị dị n'elu na-egbuke egbuke site na mgbasa ozi nke surfactants; N'aka nke ọzọ, site na ntinye nke surfactants na gburugburu acidic, ọ nwere ike imezu ebumnuche nke iwepụ mmetọ ígwè n'elu mpempe akwụkwọ na-egbuke egbuke. Usoro a nwere ike ịrụ ọrụ n'otu oge nke nhicha igwe na nhicha kemịkal.
Ka ọ dị ugbu a, usoro nhicha megasonic aghọwo ụzọ dị irè maka ihicha mpempe akwụkwọ na-egbuke egbuke.
6. Usoro ịgbagharị rotary:
Usoro ịgbagharị rotary bụ usoro nke na-eji usoro igwe na-atụgharị wafer na oke ọsọ, na-efesa mmiri mmiri (mmiri deionized dị ọcha ma ọ bụ mmiri nhicha ndị ọzọ) n'elu wafer n'oge usoro ntụgharị iji wepụ adịghị ọcha na mmiri. elu nke wafer.
Usoro a na-eji mmetọ dị n'elu wafer na-agbaze n'ime mmiri mmiri a na-efesa (ma ọ bụ na-emeghachi ya na ya iji gbazee), ma na-eji mmetụta centrifugal nke ntụgharị ọsọ ọsọ na-eme ka mmiri mmiri nwere adịghị ọcha dị iche na elu nke wafer. n'oge.
Usoro ịgbasa rotary nwere uru dị na ihicha kemịkalụ, ihicha sistemu mmiri, na ịhịa ahụ dị elu. N'otu oge ahụ, a pụkwara ijikọ usoro a na usoro ihicha. Mgbe oge ihicha mmiri na-ekpochapụ deionized, a na-akwụsị mmiri na-agba mmiri ma na-eji gas na-agbapụta. N'otu oge ahụ, enwere ike ịbawanye ọsọ ntụgharị iji mee ka ike centrifugal mee ka mmiri dị n'elu wafer ngwa ngwa.
7.Nhicha kemịkalụ akọrọ
Nhicha akọrọ na-ezo aka na teknụzụ ihicha nke na-adịghị eji ngwọta.
Teknụzụ ihicha akọrọ a na-eji ugbu a gụnyere: teknụzụ ihicha plasma, teknụzụ nhicha nke gas, teknụzụ ihicha osisi, wdg.
Uru nke ihicha akọrọ bụ usoro dị mfe na enweghị mmetọ gburugburu ebe obibi, ma ọnụ ahịa dị elu na oke ojiji adịghị ukwuu maka oge a.
1. Nkà na ụzụ ihicha Plasma:
A na-ejikarị ihicha Plasma eme ihe na usoro iwepụ fotoresist. A na-ewebata obere oxygen n'ime usoro mmeghachi omume plasma. N'okpuru ọrụ nke ọkụ eletrik siri ike, ikuku oxygen na-emepụta plasma, nke na-eme ngwa ngwa oxidize photoresist n'ime ọnọdụ gas na-agbanwe agbanwe ma wepụ ya.
Nkà na ụzụ ihicha a nwere uru nke ịrụ ọrụ dị mfe, arụmọrụ dị elu, elu dị ọcha, ọ dịghị ihe ọ bụla na-eme ka ọ dị mma, ma dị mma iji hụ na àgwà ngwaahịa dị na usoro nkwụsị. Ọzọkwa, ọ dịghị eji acids, alkalis na organic solvents, ọ dịghịkwa nsogbu dị ka mkpofu mkpofu na gburugburu ebe obibi mmetọ. Ya mere, ndị mmadụ na-ejiwanye ya akpọrọ ihe. Agbanyeghị, ọ nweghị ike iwepu carbon na ọla ndị ọzọ na-adịghị agbanwe agbanwe ma ọ bụ ọla oxide adịghị ọcha.
2. Teknụzụ nhicha nke gas:
Nchacha nke gas na-ezo aka na usoro nhicha nke na-eji usoro gas kwekọrọ na ihe kwekọrọ na mmiri mmiri na-emekọ ihe na ihe ndị na-emerụ emerụ n'elu wafer iji nweta nzube nke iwepụ adịghị ọcha.
Dịka ọmụmaatụ, na usoro CMOS, ihicha wafer na-eji mmekọrịta dị n'etiti ikuku gas HF na mmiri vapor wepụ oxides. Ọtụtụ mgbe, usoro HF nwere mmiri ga-esonyere ya na usoro iwepụ ihe, ebe iji teknụzụ nhicha gas na-eme HF adịghị achọ usoro iwepụ ihe na-esote.
Uru ndị kachasị mkpa ma e jiri ya tụnyere usoro HF aqueous bụ ihe oriri kemịkalụ HF dị ntakịrị na ịrụ ọrụ nhicha dị elu.
Nabata ndị ahịa ọ bụla si n'akụkụ ụwa niile ka ha bịa leta anyị maka mkparịta ụka ọzọ!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Oge nzipu: Ọgọst-13-2024