Waferịkpụ bụ otu n'ime njikọ dị mkpa na mmepụta semiconductor ike. Emebere usoro a iji kewapụ sekit agbakwunyere n'otu n'otu ma ọ bụ ibe n'ụdị wafers semiconductor.
Igodo ijiwaferigbubi bụ inwe ike ikewa ibe n'otu n'otu ebe ị na-ahụ na ihe owuwu na sekit ndị siri ike agbakwunyere nawaferadịghị emebi emebi. Ọganihu ma ọ bụ ọdịda nke usoro ịkpụ ọ bụghị naanị na-emetụta àgwà nkewa na mkpụrụ nke mgbawa, ma ọ na-emetụtakwa arụmọrụ nke usoro mmepụta dum.
▲ Ụdị igbutu wafer atọ na-emekarị | Isi mmalite: KLA CHINA
Ugbu a, ndị nkịtịwaferA na-ekewa usoro ịkpụ n'ime:
Ịcha agụba: ọnụ ala dị ala, a na-ejikarị ya eme ihewafer
Mbelata laser: ọnụ ahịa dị elu, nke a na-ejikarị maka wafers nwere ọkpụrụkpụ karịa 30μm
Mbelata Plasma: ọnụ ahịa dị elu, ihe mgbochi ndị ọzọ, a na-ejikarị wafers nwere ọkpụrụkpụ nke na-erughị 30μm
Mechanical agụba ọnwụ
Ịcha agụba bụ usoro nke ịkpụ n'akụkụ ahịrị ode akwụkwọ site na diski na-agbagharị agbagharị dị elu (agụba). A na-ejikarị agụba abrasive ma ọ bụ ihe dị nro dị nro mee ka agụba ahụ, nke dabara adaba maka ịkpụcha ma ọ bụ ịkwanye na wafer silicon. Otú ọ dị, dị ka usoro ịkpụcha ihe, ịkpụ agụba na-adabere na mwepụ nke anụ ahụ, nke nwere ike iduga n'ụzọ dị mfe na nchichi ma ọ bụ mgbawa nke mgbawa, si otú ahụ na-emetụta àgwà ngwaahịa na ibelata mkpụrụ.
A na-emetụta ogo ngwaahịa ikpeazụ nke usoro ịwa ahụ na-emepụta site na ọtụtụ paramita, gụnyere ịcha ọsọ, ọkpụrụkpụ agụba, dayameta agụba, na ọsọ ntụgharị agụba.
Mkpụcha zuru oke bụ usoro ịkpụ agụba kachasị, nke na-egbutu ihe arụrụ arụ ahụ kpamkpam site na ịkpụ na ihe edoziri (dịka teepu slicing).
▲ Mechanical agụba ọnwụ zuru oke | Netwọk isi iyi onyonyo
Ọkara ịkpụ bụ usoro nhazi nke na-emepụta oghere site na ịkpụ n'etiti etiti workpiece. Site n'ịga n'ihu na-eme usoro ịhịa aka n'ahụ, enwere ike ịmepụta mbo na ihe ndị yiri agịga.
▲ Mechanical agụba ọnwụ-ọkara ịkpụ | Netwọk isi iyi onyonyo
Mbipu okpukpu abụọ bụ usoro nhazi nke na-eji mkpị osisi abụọ nwere mkpịsị aka abụọ iji mee nkebi zuru oke ma ọ bụ ọkara na ahịrị mmepụta abụọ n'otu oge. Nkịta nke mpịcha okpukpu abụọ nwere anyụike spindle abụọ. Enwere ike nweta nsonaazụ dị elu site na usoro a.
▲ Mechanical agụba ịcha-okpukpu abụọ ịkpụ | Netwọk isi iyi onyonyo
Mbipu nzọụkwụ na-eji mpịachi okpukpu abụọ nwere spindle abụọ iji rụọ mkpụkọ zuru oke na ọkara n'ọkwa abụọ. Jiri agụba ahaziri maka ịkpụ akwa wiring n'elu wafer na agụba ahaziri maka otu kristal silicon nke fọdụrụ iji nweta nhazi dị elu.
▲ Mechanical agụba ọnwụ - nzọụkwụ ọnwụ | Netwọk isi iyi onyonyo
Ịcha bevel bụ usoro nhazi nke na-eji agụba nwere ihu V dị na nsọtụ nke ọkara gbutuo wafer n'ụzọ abụọ n'oge usoro ịkpụ ụkwụ. A na-eme usoro chamfering n'oge usoro ịkpụ. Ya mere, enwere ike nweta ike ịkpụ dị elu na nhazi dị elu.
▲ Mechanical agụba ọnwụ - bevel ọnwụ | Netwọk isi iyi onyonyo
Mbelata laser
Mgbucha laser bụ teknụzụ ịkpụ wafer na-enweghị kọntaktị nke na-eji eriri laser lekwasịrị anya kewapụ ibe ọ bụla na wafers semiconductor. Igwe ọkụ laser dị elu na-elekwasị anya n'elu wafer ma na-ekpochapụ ma ọ bụ wepụ ihe dị n'akụkụ ahịrị mbelata a kara aka site na ablation ma ọ bụ usoro ire ere ọkụ.
▲ Ihe osise ịcha laser | Isi mmalite foto: KLA CHINA
Ụdị lasers ndị a na-ejikarị eme ihe ugbu a gụnyere laser ultraviolet, laser infrared, na laser femtosecond. N'ime ha, a na-ejikarị laser ultraviolet eme ihe maka ikpochapụ oyi n'ihi ike ha dị elu nke foton, na mpaghara okpomọkụ na-emetụta dị ntakịrị, nke nwere ike ibelata ihe ize ndụ nke mmebi ọkụ na wafer na ibe ya gburugburu. Laser infrared kacha mma maka wafers dị oke n'ihi na ha nwere ike ịbanye n'ime ihe ahụ. Laser femtosecond na-enweta mwepụ nke ihe dị elu na nke ọma yana mbufe ọkụ na-enweghị atụ site na ọkụ ọkụ ultrashort.
Ịcha laser nwere uru dị ịrịba ama karịa ịkpụ agụba ọdịnala. Nke mbụ, dị ka usoro na-abụghị kọntaktị, ịcha laser adịghị achọ nrụgide anụ ahụ na wafer, na-ebelata nkewa na nsogbu mgbagwoju anya na-emekarị na ịcha ígwè. Njirimara a na-eme ka ịcha laser dabara adaba maka nhazi wafers na-emebi emebi ma ọ bụ nke dị oke mkpa, ọkachasị ndị nwere usoro dị mgbagwoju anya ma ọ bụ njirimara mara mma.
▲ Ihe osise ịcha laser | Netwọk isi iyi onyonyo
Tụkwasị na nke ahụ, ịdị elu na izi ezi nke ịkpụ laser na-enyere ya aka ilekwasị anya n'ibe laser na obere ntụpọ dị oke, na-akwado usoro ịkpụcha mgbagwoju anya, wee nweta nkewa nke kacha nta n'etiti ibe. Njirimara a dị mkpa karịsịa maka ngwaọrụ semiconductor dị elu nwere nha na-ebelata.
Otú ọ dị, ịcha laser nwekwara ụfọdụ njedebe. E jiri ya tụnyere ịcha agụba, ọ na-adị nwayọọ ma dị oke ọnụ, karịsịa na mmepụta ihe dị ukwuu. Tụkwasị na nke ahụ, ịhọrọ ụdị laser ziri ezi na nhazi kachasị mma iji hụ na mwepụ ihe onwunwe na-arụ ọrụ nke ọma na mpaghara obere okpomọkụ na-emetụta nwere ike bụrụ ihe ịma aka maka ụfọdụ ihe na ọkpụrụkpụ.
Mbelata ablation laser
N'oge mgbụsị akwụkwọ nke laser, a na-elekwasị anya n'otu ebe a kapịrị ọnụ n'elu wafer ahụ, a na-eduzi ike laser dị ka usoro ịkpụcha mbọ aka, jiri nwayọọ nwayọọ na-egbutu wafer na ala. Dabere na mkpa ịkpụ, a na-arụ ọrụ a site na iji laser pulsed ma ọ bụ laser na-efegharị efegharị na-aga n'ihu. Iji gbochie mmebi nke wafer n'ihi oke ọkụ mpaghara nke laser, a na-eji mmiri jụrụ oyi mee ka ọ dị jụụ ma chebe wafer site na mmebi ọkụ. N'otu oge ahụ, mmiri jụrụ oyi nwekwara ike wepụ ihe ndị a na-emepụta n'oge a na-egbutu, gbochie mmetọ ma hụ na ịcha mma.
Laser-adịghị ahụ anya ọnwụ
A pụkwara ilekwasị anya na laser iji nyefee okpomọkụ n'ime isi ahụ nke wafer, usoro a na-akpọ "mbelata laser na-adịghị ahụ anya". Maka usoro a, okpomọkụ sitere na laser na-emepụta oghere na ụzọ ndị odeakwụkwọ. Ebe ndị a na-esighị ike na-enweta mmetụta ntinye nke yiri ya site na imebi mgbe a na-agbatị wafer.
▲ Main usoro nke laser adịghị ahụ anya ọnwụ
Usoro ịkpụ ahụ a na-adịghị ahụ anya bụ usoro laser absorption nke dị n'ime, karịa ablation laser ebe laser na-etinye uche n'elu. Na-adịghị ahụ anya ọnwụ, laser doo ike na a wavelength nke bụ ọkara transperent na wafer ihe onwunwe na-eji. A na-ekewa usoro ahụ ụzọ abụọ bụ isi, otu bụ usoro nke dabeere na laser, nke ọzọ bụ usoro nkewa n'ibu.
▲ The laser doo na-emepụta perforation n'okpuru wafer elu, na n'ihu na azụ n'akụkụ adịghị emetụta | Netwọk isi iyi onyonyo
Na nzọụkwụ mbụ, dị ka ọkụ ọkụ laser na-enyocha wafer, ọkụ laser na-elekwasị anya n'otu ebe dị n'ime wafer, na-akpụ ebe mgbawa n'ime. Ike ọkụ na-eme ka usoro mgbawa na-etolite n'ime, nke na-agbatịbeghị site na ọkpụrụkpụ dum nke wafer na elu na ala.
▲ Ntụnyere nke 100μm oké silicon wafers ịkpụ site agụba usoro na laser adịghị ahụ anya ọnwụ usoro | Netwọk isi iyi onyonyo
N'okwu nke abụọ, teepu mgbawa na ala nke wafer na-agbasawanye n'anụ ahụ, nke na-akpata nrụgide nkwụsị na mgbawa n'ime wafer, nke a na-ebute na usoro laser na nzọụkwụ mbụ. Nchegbu a na-eme ka mgbawa ahụ gbatịa kwụ ọtọ ruo elu na elu ala nke wafer, wee kewaa wafer ahụ n'ime ibe n'akụkụ ebe ndị a na-egbutu. N'ebe a na-adịghị ahụ anya, a na-ejikarị ịkpụ ọkara ma ọ bụ nke dị n'akụkụ ala iji kwado nkewa nke wafers n'ime ibe ma ọ bụ ibe.
Uru ndị dị mkpa nke ịkpụ laser na-adịghị ahụ anya karịa ablation laser:
• Ọ dịghị coolant achọrọ
• Ọnweghị ihe mkpofu emepụtara
• Enweghị mpaghara okpomọkụ emetụtara nke nwere ike imebi sekit ndị nwere mmetụta
Mbelata Plasma
Mbelata Plasma (nke a makwaara dị ka plasma etching ma ọ bụ akọrọ etching) bụ teknụzụ na-egbutu wafer dị elu nke na-eji reactive ion etching (RIE) ma ọ bụ ion etching miri emi (DRIE) iji kewapụ ibe n'otu n'otu na wafers semiconductor. Teknụzụ na-enweta ịkpụ site na kemịkalụ iwepu ihe n'akụkụ ahịrị ịkpụ agbagoro agbagoro site na iji plasma.
N'oge a na-egbutu plasma, a na-etinye semiconductor wafer n'ime oghere oghere, a na-ewebata ngwakọta gas na-arụ ọrụ na-achịkwa n'ime ụlọ ahụ, a na-etinyekwa ọkụ eletrik na-emepụta plasma nke nwere nnukwu ntinye nke ion na radicals. Ụdị ndị a na-emeghachi omume na-emekọ ihe na ihe wafer ma họrọ nke ọma wepụ ihe wafer n'akụkụ ahịrị odeakwụkwọ site na nchikota mmeghachi omume kemịkalụ na nsị anụ ahụ.
Isi uru nke ịkpụ plasma bụ na ọ na-ebelata nrụgide n'ibu na wafer na mgbawa ma na-ebelata mmebi nwere ike ịkpata site na kọntaktị anụ ahụ. Otú ọ dị, usoro a dị mgbagwoju anya ma na-ewe oge karịa ụzọ ndị ọzọ, karịsịa mgbe ị na-emeso wafers ma ọ bụ ihe ndị nwere nnukwu nguzogide etching, ya mere ngwa ya na mmepụta oke dị oke.
▲ Isi iyi netwọk
N'ime mmepụta nke semiconductor, a ga-ahọrọ usoro ịkpụ wafer dabere n'ọtụtụ ihe, gụnyere akụrụngwa wafer, nha mgbawa na geometry, chọrọ nkenke na izi ezi, yana ọnụ ahịa mmepụta na arụmọrụ zuru oke.
Oge nzipu: Sep-20-2024