Nabata na webụsaịtị anyị maka ozi ngwaahịa na ndụmọdụ.
Webụsaịtị anyị:https://www.vet-china.com/
Etching nke Poly na SiO2:
Mgbe nke a gasịchara, a na-ewepụ ihe karịrị Poly na SiO2, ya bụ, wepụ ya. N'oge a, ntụziaka ntụziakaetchingeji. Na nhazi ọkwa nke etching, e nwere nhazi nhazi ntụziaka na nke na-abụghị ntụziaka. Etching ntụzịaka na-ezo akaetchingna ntụziaka ụfọdụ, ebe etching na-abụghị ntụziaka na-abụghị ntụziaka (m na mberede kwuru nke ukwuu. Na nkenke, ọ bụ iji wepụ SiO2 n'otu ntụziaka site na kpọmkwem acids na bases). N'ihe atụ a, anyị na-eji etching ntụzịaka ala iji wepụ SiO2, ọ na-aghọkwa nke a.
N'ikpeazụ, wepụ fotoresisist. N'oge a, usoro nke iwepụ fotoresisist abụghị ịgbalite site na ọkụ irradiation nke a kpọtụrụ aha n'elu, ma site na ụzọ ndị ọzọ, n'ihi na ọ dịghị anyị mkpa ịkọwapụta otu nha n'oge a, ma wepụ ihe niile photoresist. N'ikpeazụ, ọ na-aghọ dị ka egosiri na foto na-esonụ.
N'ụzọ dị otu a, anyị enwetala ebumnuche nke idowe ebe a kapịrị ọnụ nke Poly SiO2.
Nhazi nke isi iyi na igbapu:
N'ikpeazụ, ka anyị tụlee otú e si emepụta isi iyi na mmiri. Onye ọ bụla ka na-echeta na anyị kwuru banyere ya na mbipụta ikpeazụ. Isi iyi na igbapu bụ ion-akụnye na otu ụdị ihe. N'oge a, anyị nwere ike iji photoresist meghee isi iyi/mmiri ebe a chọrọ ka etinyere ụdị N. Ebe ọ bụ na anyị na-ewere NMOS naanị dịka ọmụmaatụ, a ga-emeghe akụkụ niile dị na ọnụ ọgụgụ dị n'elu, dị ka egosiri na foto a.
Ebe ọ bụ na akụkụ nke fotoresist enweghị ike ịkụnye (a na-egbochi ọkụ), a ga-etinye ihe ndị dị n'ụdị N na NMOS achọrọ. Ebe ọ bụ na ihe ndị dị n'okpuru poly na-egbochi poly na SiO2, a gaghị etinye ya, ya mere ọ na-adị ka nke a.
N'oge a, e meela ụdị MOS dị mfe. Na tiori, ọ bụrụ na agbakwunyere voltaji na isi iyi, igbapu, poly na mkpụrụ, MOS a nwere ike ịrụ ọrụ, mana anyị enweghị ike ịme nyocha ma tinye voltaji ozugbo na isi iyi na igbapu. N'oge a, a chọrọ wiring MOS, ya bụ, na MOS a, jikọọ wires iji jikọọ ọtụtụ MOS ọnụ. Ka anyị leba anya na usoro wiring.
Na-eme VIA:
Nzọụkwụ mbụ bụ iji akwa SiO2 kpuchie MOS dum, dị ka egosiri na foto dị n'okpuru:
N'ezie, SiO2 a na-emepụta site na CVD, n'ihi na ọ na-adị ngwa ngwa ma na-echekwa oge. Ihe na-esonụ ka bụ usoro nke ịtọ photoresisist na ikpughe. Mgbe njedebe, ọ dị ka nke a.
Mgbe ahụ, jiri usoro etching mee ka oghere dị na SiO2, dị ka egosiri na akụkụ isi awọ dị na foto dị n'okpuru. Omimi nke oghere a na-akpọtụrụ Si elu ozugbo.
N'ikpeazụ, wepụ fotoresisist wee nweta ọdịdị na-esonụ.
N'oge a, ihe a ga-eme bụ imeju onye nduzi na oghere a. Kedu ihe onye nduzi a bụ? Ụlọ ọrụ ọ bụla dị iche iche, ọtụtụ n'ime ha bụ tungsten alloys, yabụ kedu ka esi jupụta oghere a? A na-eji usoro PVD (Vapor Deposition) mee ihe, ụkpụrụ a yiri nke dị n'okpuru.
Jiri eletrọn ma ọ bụ ion nwere ike dị elu mee ihe iji tụọ ihe a na-atụ anya ya, na ihe ndị gbajiri agbaji ga-adaba na ala n'ụdị atom, si otú a na-emepụta mkpuchi n'okpuru. Ihe ezubere iche anyị na-ahụkarị na akụkọ na-ezo aka n'ihe ezubere iche ebe a.
Mgbe emejuchara oghere ahụ, ọ dị ka nke a.
N'ezie, mgbe anyị na-ejupụta ya, ọ gaghị ekwe omume ịchịkwa ọkpụrụkpụ nke mkpuchi ahụ ka ọ bụrụ kpọmkwem nha nke omimi nke oghere ahụ, n'ihi ya, a ga-enwe oke, n'ihi ya, anyị na-eji teknụzụ CMP (Chemical Mechanical Polishing), nke na-ada ụda nke ukwuu. elu-ọgwụgwụ, ma ọ na-egweri n'ezie, na-egweri ihe ngafe akụkụ. Nsonaazụ dị ka nke a.
N'ebe a, anyị dechara mmepụta nke oyi akwa nke via. N'ezie, mmepụta nke via bụ tumadi maka wiring nke metal oyi akwa n'azụ.
Mmepụta oyi akwa igwe:
N'okpuru ọnọdụ ndị a dị n'elu, anyị na-eji PVD mee ka oyi akwa ọzọ dị nchara. Nke a ọla bụ tumadi a ọla kọpa alloy.
Mgbe ahụ, mgbe ikpughe na etching, anyị na-enweta ihe anyị chọrọ. Mgbe ahụ gaa n'ihu na-achịkọta ọnụ ruo mgbe anyị gboo mkpa anyị.
Mgbe anyị na-ese okirikiri nhọrọ ukwuu, anyị ga-agwa gị ole n'ígwé nke metal na site na usoro na-eji nwere ike stacked na kasị, nke pụtara ole n'ígwé nwere ike stacked.
N'ikpeazụ, anyị na-enweta usoro a. Ihe dị n'elu bụ pin nke mgbawa a, na mgbe nkwakọchara, ọ na-aghọ pin anyị nwere ike ịhụ (n'ezie, m dọpụtara ya na-enweghị usoro, ọ dịghị ihe ọ bụla bara uru, dịka ọmụmaatụ).
Nke a bụ usoro ịme mgbawa n'ozuzu. Na mbipụta a, anyị mụtara banyere ihe kachasị mkpa ikpughe, etching, ion implantation, oven tubes, CVD, PVD, CMP, wdg na semiconductor foundry.
Oge nzipu: Ọgọst-23-2024