Ọkwa nyocha nke sekit agbakwunyere SiC

Dị iche na S1C discrete ngwaọrụ nke na-achụso elu voltaji, elu ike, elu ugboro na elu okpomọkụ e ji mara, nyocha ihe mgbaru ọsọ nke SiC integrated circuit bụ tumadi inweta elu okpomọkụ dijitalụ circuit maka ọgụgụ isi ike ICs akara sekit. Dị ka SiC jikọtara sekit maka eletrik eletrik dị n'ime dị ala, yabụ mmetụta nke ntụpọ microtubules ga-ebelata nke ukwuu, nke a bụ mpempe mbụ nke monolithic SiC Integrated functional amplifier mgbawa kwadoro, ngwaahịa emechara nke ọma na mkpebi siri ike site na mkpụrụ dị elu karịa. karịa microtubules ntụpọ, ya mere, dabere na SiC mkpụrụ nlereanya na Si na CaAs ihe doro anya dị iche iche. Ihe mgbawa ahụ dabere na teknụzụ NMOSFET mbelata. Isi ihe kpatara ya bụ na mmegharị ụgbọ ala dị irè nke chanel SiC MOSFET dị ala. Iji meziwanye mmegharị elu nke Sic, ọ dị mkpa iji melite ma kwalite usoro oxidation thermal nke Sic.

Mahadum Purdue emeela ọtụtụ ọrụ na sekit agbakwunyere SiC. N'afọ 1992, a rụpụtara ụlọ ọrụ ahụ nke ọma na-adabere na mgbanaka ọwa 6H-SIC NMOSFETs monolithic digital integrated circuit. Ihe mgbawa ahụ nwere ma ọ bụghị ọnụ ụzọ ámá, ma ọ bụ ọ bụghị ọnụ ụzọ ámá, na ma ọ bụ ọnụ ụzọ ámá, ọnụọgụ ọnụọgụ abụọ, na ọkara adder sekit ma nwee ike ịrụ ọrụ nke ọma na okpomọkụ nke 25 ° C ruo 300 ° C. N'afọ 1995, ụgbọ elu SiC mbụ MESFET Ic bụ iji teknụzụ kewapụ ịgbanye vanadium. Site na ịchịkwa kpọmkwem ọnụọgụ vanadium agbanyere, enwere ike nweta SiC mkpuchi.

Na sekit mgbagha dijitalụ, sekit CMOS mara mma karịa sekit NMOS. Na Septemba 1996, arụpụtara sekit agbakwunyere dijitalụ nke mbụ 6H-SIC CMOS. Ngwaọrụ ahụ na-eji N-order agbaba na oyi akwa oxide deposition, mana n'ihi nsogbu usoro ndị ọzọ, mgbawa PMOSFETs voltaji ọnụ ụzọ dị elu. Na Machị 1997 mgbe ị na-emepụta sekit SiC CMOS nke abụọ. A na-anakwere teknụzụ nke ịgbanye ọnyà P na oyi akwa okpomọkụ oxide. Ọnụ ụzọ voltaji nke PMOSEFT nwetara site na nkwalite usoro bụ ihe dịka -4.5V. Sekit niile dị na mgbawa na-arụ ọrụ nke ọma na ụlọ okpomọkụ ruo 300 Celsius ma na-akwado ya site na otu ọkụ ọkụ, nke nwere ike ịdị ebe ọ bụla site na 5 ruo 15V.

Site na nkwalite nke mma wafer nke mkpụrụ osisi, a ga-eme sekit agbakwunyere na-arụ ọrụ na nke dị elu. Otú ọ dị, mgbe a na-edozi ihe SiC na nsogbu usoro, ntụkwasị obi nke ngwaọrụ na ngwugwu ga-abụ isi ihe na-emetụta arụmọrụ nke sekit SiC jikọtara ọnụ.