Susceptor berlapis tantalum karbida untuk wafer

Deskripsi Singkat:

Semicera adalah pemimpin dalam teknologi perlindungan material suhu tinggi dan kami bangga memperkenalkan produk pelapis CVD Tantalum Carbide (TaC) untuk memberikan perlindungan suhu tinggi yang andal untuk substrat grafit Anda.Grafit adalah bahan tahan suhu tinggi yang sangat baik, namun rentan terhadap oksidasi pada suhu tinggi, yang tidak dapat sepenuhnya dihindari bahkan dalam tungku vakum.Lapisan CVD Tantalum Carbide (TaC) kami dapat secara efektif mencegah oksidasi substrat grafit sekaligus mempertahankan kinerja suhu tinggi yang sangat baik.TaC juga merupakan bahan inert yang dapat menahan reaksi dengan gas seperti argon dan hidrogen.Konsultasikan dengan Semicera hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang susceptor EPI berlapis Tantalum Carbide CVD kami untuk memastikan stabilitas dan keandalan aplikasi suhu tinggi Anda.

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Rincian produk

Label Produk

Lapisan TaC adalah sejenis lapisan tantalum karbida (TaC) yang dibuat dengan teknologi pengendapan uap fisik, memiliki ciri-ciri sebagai berikut:

1. Kekerasan tinggi: Kekerasan lapisan TaC tinggi, biasanya bisa mencapai 2500-3000HV, merupakan lapisan keras yang sangat baik.

2. Ketahanan aus: Lapisan TaC sangat tahan aus, yang secara efektif dapat mengurangi keausan dan kerusakan komponen mekanis saat digunakan.

3. Ketahanan suhu tinggi yang baik: Lapisan TaC juga dapat mempertahankan kinerja luar biasa di bawah lingkungan suhu tinggi.

4. Stabilitas kimia yang baik: Lapisan TaC memiliki stabilitas kimia yang baik dan dapat menahan banyak reaksi kimia, seperti asam dan basa.

Tantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化层物理特性 foto Sifat fisik dari TaC lapisan
密度/ Kepadatan	14,3 (g/cm³)
比辐射 foto / Emisivitas spesifik	0,3
热膨胀系数 / Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Kekerasan (HK)	2000HK
电阻 / Perlawanan	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilitas termal	<2500℃
石墨尺寸变化 / Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
涂层厚度 / Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co, Ltd adalah perusahaan teknologi tinggi yang berfokus pada produksi dan penjualan material canggih kelas atas, material dan teknologi yang mencakup grafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan, dan sebagainya.Produk ini banyak digunakan dalam fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!