Susceptor berlapis tantalum karbida untuk wafer

Deskripsi Singkat:

Susceptor berlapis karbida Tantalum Energi VET untuk wafer adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu lama. Ia memiliki ketahanan panas yang sangat baik dan keseragaman termal, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.


Detail Produk

Label Produk

Pelapisan TaC merupakan salah satu jenis pelapis tantalum karbida (TaC) yang dibuat dengan teknologi deposisi uap fisik, memiliki ciri-ciri sebagai berikut:

1. Kekerasan tinggi: Kekerasan lapisan TaC tinggi, biasanya bisa mencapai 2500-3000HV, merupakan lapisan keras yang sangat baik.

2. Ketahanan aus: Lapisan TaC sangat tahan aus, yang secara efektif dapat mengurangi keausan dan kerusakan komponen mekanis saat digunakan.

3. Ketahanan suhu tinggi yang baik: Lapisan TaC juga dapat mempertahankan kinerjanya yang sangat baik di lingkungan bersuhu tinggi.

4. Stabilitas kimia yang baik: Lapisan TaC memiliki stabilitas kimia yang baik dan dapat menahan banyak reaksi kimia, seperti asam dan basa.

6 (3)
Tantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化层物理特性 foto

Sifat fisik dari TaC lapisan

密度/ Kepadatan

14,3 (g/cm³)

比辐射 foto / Emisivitas spesifik

0,3

热膨胀系数 / Koefisien ekspansi termal

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Kekerasan (HK)

2000HK

电阻 / Perlawanan

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Stabilitas termal

<2500℃

石墨尺寸变化 / Perubahan ukuran grafit

-10~-20um

涂层厚度 / Ketebalan lapisan

Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co, Ltd adalah perusahaan teknologi tinggi yang berfokus pada produksi dan penjualan material canggih kelas atas, material dan teknologi yang mencakup grafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan, dan sebagainya. Produk ini banyak digunakan dalam fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Daring WhatsApp!