Deposisi uap kimia (CVD) mengacu pada proses pengendapan film padat pada permukaan silikonkue wafermelalui reaksi kimia campuran gas. Menurut kondisi reaksi yang berbeda (tekanan, prekursor), dapat dibagi menjadi berbagai model peralatan.
Untuk proses apa kedua perangkat ini digunakan?
PECVDPeralatan (Plasma Enhanced) adalah yang paling banyak dan paling umum digunakan, digunakan dalam OX, Nitrida, gerbang logam, karbon amorf, dll.; LPCVD (Low Power) biasanya digunakan pada Nitrida, poli, TEOS.
Apa prinsipnya?
PECVD-proses yang menggabungkan energi plasma dan CVD secara sempurna. Teknologi PECVD menggunakan plasma suhu rendah untuk menginduksi pelepasan cahaya di katoda ruang proses (yaitu baki sampel) di bawah tekanan rendah. Pelepasan pijar atau alat pemanas lainnya ini dapat menaikkan suhu sampel ke tingkat yang telah ditentukan, dan kemudian memasukkan gas proses dalam jumlah yang terkendali. Gas ini mengalami serangkaian reaksi kimia dan plasma, dan akhirnya membentuk lapisan padat pada permukaan sampel.
LPCVD - Deposisi uap kimia bertekanan rendah (LPCVD) dirancang untuk mengurangi tekanan operasi gas reaksi dalam reaktor menjadi sekitar 133Pa atau kurang.
Apa ciri-cirinya masing-masing?
PECVD - Sebuah proses yang secara sempurna menggabungkan energi plasma dan CVD: 1) Pengoperasian suhu rendah (menghindari kerusakan suhu tinggi pada peralatan); 2) Pertumbuhan film yang cepat; 3) Tidak pilih-pilih bahan, OX, Nitrida, gerbang logam, karbon amorf semuanya dapat tumbuh; 4) Terdapat sistem pemantauan in-situ, yang dapat menyesuaikan resep melalui parameter ion, laju aliran gas, suhu dan ketebalan film.
LPCVD - Film tipis yang diendapkan oleh LPCVD akan memiliki cakupan langkah yang lebih baik, komposisi dan kontrol struktur yang baik, laju deposisi dan keluaran yang tinggi. Selain itu, LPCVD tidak memerlukan gas pembawa, sehingga sangat mengurangi sumber polusi partikel dan banyak digunakan dalam industri semikonduktor bernilai tambah tinggi untuk pengendapan film tipis.
Selamat datang setiap pelanggan dari seluruh dunia untuk mengunjungi kami untuk diskusi lebih lanjut!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Waktu posting: 24 Juli-2024