Silikon karbida (SiC) merupakan salah satu jenis bahan keramik dengan potensi aplikasi yang luas, memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, stabilitas kimia, dan ketahanan suhu tinggi. Untuk lebih meningkatkan kinerja dan jangkauan aplikasi silikon karbida, deposisi uap kimia (CVD) ...
Baca selengkapnya