CARA MEMBUAT WAFER SILIKON
A kue waferadalah sepotong silikon setebal kira-kira 1 milimeter yang memiliki permukaan sangat datar berkat prosedur yang secara teknis sangat menuntut. Penggunaan selanjutnya menentukan prosedur pertumbuhan kristal mana yang harus digunakan. Dalam proses Czochralski, misalnya, silikon polikristalin dilebur dan benih kristal setipis pensil dicelupkan ke dalam silikon cair. Kristal benih kemudian diputar dan ditarik perlahan ke atas. Hasilnya adalah raksasa yang sangat berat, sebuah kristal tunggal. Karakteristik kelistrikan monokristal dapat dipilih dengan menambahkan unit kecil dopan dengan kemurnian tinggi. Kristal tersebut didoping sesuai dengan spesifikasi pelanggan lalu dipoles dan dipotong-potong. Setelah berbagai langkah produksi tambahan, pelanggan menerima wafer tertentu dalam kemasan khusus, yang memungkinkan pelanggan untuk menggunakan wafer segera di lini produksinya.
PROSES CZOCHRALSKI
Saat ini, sebagian besar silikon monokristal ditanam berdasarkan proses Czochralski, yang melibatkan peleburan silikon polikristalin dengan kemurnian tinggi dalam wadah kuarsa hipermurni dan menambahkan dopan (biasanya B, P, As, Sb). Kristal biji monokristalin yang tipis dicelupkan ke dalam silikon cair. Kristal CZ besar kemudian berkembang dari kristal tipis ini. Pengaturan yang tepat terhadap suhu dan aliran silikon cair, rotasi kristal dan wadah, serta kecepatan penarikan kristal menghasilkan ingot silikon monokristalin berkualitas sangat tinggi.
METODE ZONA APAPUN
Monokristal yang diproduksi menurut metode zona mengambang ideal untuk digunakan dalam komponen semikonduktor daya, seperti IGBT. Ingot silikon polikristalin berbentuk silinder dipasang di atas koil induksi. Medan elektromagnetik frekuensi radio membantu melelehkan silikon dari bagian bawah batang. Medan elektromagnetik mengatur aliran silikon melalui lubang kecil pada kumparan induksi dan menuju monokristal yang terletak di bawahnya (metode zona apung). Doping, biasanya dengan B atau P, dilakukan dengan menambahkan zat gas.
Waktu posting: 07 Juni 2021