Selama proses epitaksi fase uap (VPE), peran alas adalah untuk menopang substrat dan memastikan pemanasan seragam selama proses pertumbuhan. Berbagai jenis alas cocok untuk kondisi pertumbuhan dan sistem material yang berbeda. Berikut ini adalah beberapa jenis alas yang umum digunakan dalam fase uapepitaksi:
Alas barel
Alas barel biasanya digunakan dalam sistem epitaksi fase uap horizontal atau miring. Mereka dapat menahan substrat dan membiarkan gas mengalir di atas substrat, yang membantu mencapai pertumbuhan epitaksi yang seragam.
Alas berbentuk cakram (alas vertikal)
Alas berbentuk cakram cocok untuk sistem epitaksi fase uap vertikal, di mana substrat ditempatkan secara vertikal. Desain ini membantu mengurangi area kontak antara substrat dan suseptor, sehingga mengurangi kehilangan panas dan potensi kontaminasi.
Reseptor horisontal
Suseptor horizontal kurang umum pada epitaksi fase uap, namun dapat digunakan pada beberapa sistem pertumbuhan spesifik untuk memungkinkan pertumbuhan epitaksi dalam arah horizontal.
Suseptor reaksi epitaksi monolitik
Suseptor reaksi epitaksi monolitik dirancang untuk substrat tunggal, yang dapat memberikan kontrol suhu yang lebih tepat dan isolasi termal yang lebih baik, cocok untuk pertumbuhan lapisan epitaksi berkualitas tinggi.
Selamat datang di website kami untuk informasi produk dan konsultasi.
Situs web kami: https://www.vet-china.com/
Waktu posting: 30 Juli 2024