Silikon karbida (SiC) merupakan salah satu jenis bahan keramik dengan potensi aplikasi yang luas, memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, stabilitas kimia, dan ketahanan suhu tinggi.Untuk lebih meningkatkan kinerja dan jangkauan aplikasi silikon karbida, teknologi deposisi uap kimia (CVD) telah menjadi metode penting untuk menyiapkan lapisan silikon karbida.
Lapisan silikon karbida CVD dapat membentuk lapisan pelindung yang seragam dan padat pada berbagai substrat, serta memiliki beragam sifat unggul.Pertama, lapisan silikon karbida memiliki kekerasan dan ketahanan aus yang sangat tinggi, yang secara efektif dapat menahan keausan dan goresan serta melindungi media dari keausan dan korosi.Kedua, lapisan silikon karbida memiliki ketahanan suhu tinggi yang sangat baik dan masih dapat mempertahankan kekuatan mekanik dan stabilitas kimia yang tinggi di bawah lingkungan suhu tinggi.Hal ini membuat lapisan silikon karbida CVD banyak digunakan di bidang kedirgantaraan, energi, kimia dan bidang lainnya, seperti untuk pelapis dinding bagian dalam ruang bakar, sensor gas suhu tinggi, dan perangkat elektronik suhu tinggi.
Selain itu, lapisan silikon karbida juga memiliki konduktivitas termal dan sifat isolasi listrik yang sangat baik.Konduktivitas termal mengacu pada kemampuan material untuk menghantarkan panas, dan konduktivitas termal yang tinggi dari lapisan silikon karbida CVD menjadikannya ideal untuk aplikasi manajemen termal, seperti untuk radiator dan pipa panas.Isolasi listrik mengacu pada kinerja isolasi material terhadap arus, dan isolasi listrik yang baik dari lapisan silikon karbida membuatnya banyak digunakan pada perangkat elektronik, seperti lapisan isolasi tegangan tinggi dan kemasan elektronik.
Saat menyiapkan pelapis CVD silikon karbida, gas prekursor yang umum mencakup sumber silikon dan sumber karbon seperti metana dan silan.Gas-gas ini membentuk lapisan tipis silikon karbida pada permukaan substrat melalui reaksi CVD.Dengan menyesuaikan kondisi reaksi, seperti suhu, tekanan udara dan aliran gas, ketebalan, morfologi dan sifat lapisan dapat dikontrol.
Singkatnya, lapisan silikon karbida CVD memiliki sejumlah sifat unggul, termasuk kekerasan tinggi, ketahanan aus, ketahanan suhu tinggi, konduktivitas termal, dan isolasi listrik.Sifat-sifat ini membuat pelapis silikon karbida memiliki beragam aplikasi di banyak bidang, termasuk dirgantara, energi, kimia, dan elektronik.Dengan pengembangan dan peningkatan teknologi CVD yang berkelanjutan, kinerja lapisan silikon karbida akan semakin ditingkatkan, memberikan lebih banyak kemungkinan untuk penerapan lebih banyak di lebih banyak bidang.
Waktu posting: 18 Des-2023