Target tergagapterutama digunakan dalam industri elektronik dan informasi, seperti sirkuit terpadu, penyimpanan informasi, layar kristal cair, memori laser, perangkat kontrol elektronik, dll. Mereka juga dapat digunakan di bidang pelapisan kaca, serta tahan aus bahan, ketahanan korosi suhu tinggi, produk dekoratif kelas atas dan industri lainnya.
Sputtering adalah salah satu teknik utama untuk menyiapkan bahan film tipis.Ia menggunakan ion yang dihasilkan oleh sumber ion untuk mempercepat dan berkumpul dalam ruang hampa untuk membentuk berkas ion energi berkecepatan tinggi, membombardir permukaan padat, dan menukar energi kinetik antara ion dan atom permukaan padat. Atom-atom pada permukaan padat meninggalkan padatan dan diendapkan pada permukaan substrat. Padatan yang dibombardir merupakan bahan baku pengendapan film tipis dengan cara sputtering, yang disebut target sputtering. Berbagai jenis bahan film tipis tergagap telah banyak digunakan dalam sirkuit terpadu semikonduktor, media perekam, layar panel datar, dan pelapis permukaan benda kerja.
Di antara semua industri aplikasi, industri semikonduktor memiliki persyaratan kualitas paling ketat untuk film sputtering target. Target sputtering logam dengan kemurnian tinggi terutama digunakan dalam pembuatan wafer dan proses pengemasan tingkat lanjut. Mengambil contoh pembuatan chip, kita dapat melihat bahwa dari wafer silikon menjadi sebuah chip, perlu melalui 7 proses produksi besar yaitu difusi (Thermal Process), Foto-litografi (Photo-lithography), Etch (Etch), Implantasi Ion (IonImplant), Pertumbuhan Film Tipis (Deposisi Dielektrik), Pemolesan Mekanis Kimia (CMP), Metalisasi (Metalisasi) Prosesnya bersesuaian satu per satu. Target sputtering digunakan dalam proses “metalisasi”. Target dibombardir dengan partikel berenergi tinggi dengan peralatan deposisi film tipis dan kemudian lapisan logam dengan fungsi tertentu dibentuk pada wafer silikon, seperti lapisan konduktif, lapisan penghalang. Tunggu. Karena proses seluruh semikonduktor bervariasi maka beberapa situasi sesekali diperlukan untuk memverifikasi sistem ada dengan benar sehingga kami memerlukan beberapa jenis bahan tiruan pada tahap produksi tertentu untuk memastikan efeknya.
Waktu posting: 17 Januari 2022