Alat yang dikelola dengan baik, kru keuntungan yang ahli, dan produk serta layanan purna jual yang jauh lebih baik; Kami juga merupakan pasangan dan anak-anak besar yang bersatu, setiap orang tetap berpegang pada manfaat perusahaan "penyatuan, dedikasi, toleransi" untuk Dayung Kantilever RBSIC/SISIC Silikon Karbida Berkualitas Baik yang Digunakan dalam Industri Fotovoltaik Surya, Kami dengan tulus menyambut baik asing dan dalam negeri mitra bisnis, dan berharap dapat bekerja sama dengan Anda dalam waktu dekat!
Alat yang dikelola dengan baik, kru keuntungan yang ahli, dan produk serta layanan purna jual yang jauh lebih baik; Kami juga merupakan pasangan dan anak-anak besar yang bersatu, setiap orang tetap berpegang pada manfaat perusahaan “penyatuan, dedikasi, toleransi” untukKeramik tahan api dan kiln keramik Cina, Untuk memenuhi persyaratan pelanggan individu untuk setiap layanan yang lebih sempurna dan kualitas barang yang stabil. Kami dengan hangat menyambut pelanggan di seluruh dunia untuk mengunjungi kami, dengan kerja sama multi-segi kami, dan bersama-sama mengembangkan pasar baru, menciptakan masa depan yang cemerlang!
Pelapisan SiC/pelapisan substrat Grafit untuk Semikonduktor Susceptor menahan dan memanaskan wafer semikonduktor selama pemrosesan termal. Susceptor terbuat dari bahan yang menyerap energi melalui induksi, konduksi, dan/atau radiasi dan memanaskan wafer. Ketahanan guncangan termal, konduktivitas termal, dan kemurniannya sangat penting untuk pemrosesan termal cepat (RTP). Grafit berlapis silikon karbida, silikon karbida (SiC), dan silikon (Si) biasanya digunakan sebagai suseptor tergantung pada lingkungan termal dan kimia tertentu. PureSiC® CVD SiC dan bahan ultra-murni ClearCarbon™ yang memberikan stabilitas termal, ketahanan korosi, dan daya tahan yang unggul. Deskripsi Produk
Pelapisan SiC pada substrat Grafit untuk aplikasi Semikonduktor menghasilkan komponen dengan kemurnian unggul dan ketahanan terhadap atmosfer pengoksidasi.
CVD SiC atau CVI SiC diterapkan pada Grafit bagian desain sederhana atau kompleks. Pelapisan dapat diterapkan dalam berbagai ketebalan dan pada bagian yang sangat besar.
Keramik teknis adalah pilihan alami untuk aplikasi pemrosesan termal semikonduktor termasuk RTP (Rapid Thermal Processing), Epi (Epitaxial), difusi, oksidasi, dan anil. CoorsTek menyediakan komponen material canggih yang dirancang khusus untuk menahan guncangan termal dengan kemurnian tinggi, kokoh, kinerja berulang untuk suhu tinggi
Fitur:
· Ketahanan Guncangan Termal yang Sangat Baik
· Ketahanan Guncangan Fisik Yang Sangat Baik
· Ketahanan Kimia Yang Sangat Baik
· Kemurnian Super Tinggi
· Ketersediaan dalam Bentuk Kompleks
· Dapat digunakan dalam Suasana Oksidasi
aplikasi:
Sebuah wafer perlu melewati beberapa tahapan sebelum siap digunakan pada perangkat elektronik. Salah satu proses penting adalah epitaksi silikon, di mana wafer dibawa pada suseptor grafit. Sifat dan kualitas susceptor mempunyai pengaruh penting terhadap kualitas lapisan epitaksi wafer.
Sifat Khas Bahan Grafit Dasar:
| Kepadatan Tampak: | 1,85 gram/cm3 |
| Resistivitas Listrik: | 11 μΩm |
| Kekuatan Lentur: | 49MPa (500kgf/cm2) |
| Kekerasan Pantai: | 58 |
| Abu: | <5ppm |
| Konduktivitas Termal: | 116 W/mK (100 kkal/mhr-℃) |
Produk Lainnya
