Cincin Grafit Dilapisi Silikon Karbida CVD

Deskripsi Singkat:

Cincin grafit berlapis silikon karbida VET Energy adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu lama. Ia memiliki ketahanan panas yang sangat baik dan keseragaman termal, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Sifat Khas Bahan Grafit Dasar:

Kepadatan Tampak:	1,85 gram/cm3
Resistivitas Listrik:	11 μΩm
Kekuatan Lentur:	49MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan Pantai:	58
Abu:	<5ppm
Konduktivitas Termal:	116 W/mK (100 kkal/mhr-℃)

Kami menyediakan berbagai komponen susceptor dan grafit untuk semua reaktor epitaksi saat ini. Produk kami meliputi susceptor barel untuk unit LPE, susceptor pancake untuk unit LPE, CSD, dan Gemini, serta susceptor wafer tunggal untuk unit terapan dan ASM.

Dengan menggabungkan kemitraan yang kuat dengan OEM terkemuka, keahlian material, dan pengetahuan manufaktur, dokter hewan menawarkan desain optimal untuk aplikasi Anda.

Energi VET adalah ituprodusen nyata produk grafit dan silikon karbida khusus dengan lapisan CVD,dapat menyediakanbermacam-macamsuku cadang yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Otim teknis Anda berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesionaluntukmu.

Ffitur produk kami:

1. Ketahanan oksidasi suhu tinggi hingga 1700℃.
2. Kemurnian tinggi dankeseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan kompak, partikel halus.
5. Umur pemakaian lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase FCC β多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 gram/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 / Ukuran Butir	2~10μm
纯度 / Kemurnian Kimia	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
杨氏模量 / Modulus Muda	tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalakuDaya konduksi	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1