Իոնային ռմբակոծության ոչ միատեսակություն
Չորացնելփորագրությունսովորաբար ֆիզիկական և քիմիական ազդեցությունները համատեղող գործընթաց է, որի ժամանակ իոնային ռմբակոծումը կարևոր ֆիզիկական փորագրման մեթոդ է: ընթացքումփորագրման գործընթացը, իոնների անկման անկյունը և էներգիայի բաշխումը կարող են անհավասար լինել։
Եթե կողային պատի տարբեր դիրքերում իոնների անկման անկյունը տարբեր է, կողային պատի վրա իոնների փորագրման ազդեցությունը նույնպես տարբեր կլինի: Իոնների անկման ավելի մեծ անկյուններ ունեցող տարածքներում կողային պատի վրա իոնների փորագրման ազդեցությունն ավելի ուժեղ է, ինչը կհանգեցնի այս հատվածի կողային պատի ավելի փորագրմանը, ինչը կհանգեցնի կողային պատի թեքմանը: Բացի այդ, իոնային էներգիայի անհավասար բաշխումը նույնպես կառաջացնի նմանատիպ ազդեցություն: Ավելի բարձր էներգիա ունեցող իոնները կարող են ավելի արդյունավետ կերպով հեռացնել նյութերը, ինչը հանգեցնում է անհամապատասխանությանփորագրությունկողային պատի աստիճանները տարբեր դիրքերում, որն իր հերթին առաջացնում է կողային պատի թեքում:
Ֆոտոռեզիստի ազդեցությունը
Ֆոտոռեզիստը դիմակի դեր է խաղում չոր փորագրման ժամանակ՝ պաշտպանելով այն հատվածները, որոնք փորագրման կարիք չունեն: Այնուամենայնիվ, ֆոտոռեսիստը նույնպես ազդում է պլազմայի ռմբակոծությունից և քիմիական ռեակցիաներից փորագրման գործընթացում, և դրա կատարումը կարող է փոխվել:
Եթե ֆոտոռեսիստի հաստությունը անհավասար է, փորագրման գործընթացում սպառման արագությունը անհամապատասխան է, կամ ֆոտոռեսիստի և ենթաշերտի միջև կպչունությունը տարբեր է տարբեր վայրերում, դա կարող է հանգեցնել փորագրման գործընթացում կողային պատերի անհավասար պաշտպանությանը: Օրինակ, ավելի բարակ ֆոտոդիմացկուն կամ ավելի թույլ կպչուն ունեցող տարածքները կարող են հիմքում ընկած նյութը ավելի հեշտությամբ փորագրել, ինչի հետևանքով կողային պատերը թեքվում են այս վայրերում:
Սուբստրատի նյութի հատկությունների տարբերությունները
Փորագրված ենթաշերտի նյութն ինքնին կարող է ունենալ տարբեր հատկություններ, ինչպիսիք են տարբեր բյուրեղային կողմնորոշումները և դոպինգի կոնցենտրացիաները տարբեր շրջաններում: Այս տարբերությունները կազդեն փորագրման արագության և փորագրման ընտրողականության վրա:
Օրինակ, բյուրեղային սիլիցիումում սիլիցիումի ատոմների դասավորությունը տարբեր բյուրեղային կողմնորոշումներով տարբեր է, և դրանց ռեակտիվությունը և փորագրման արագությունը փորագրող գազի հետ նույնպես տարբեր կլինեն: Փորագրման գործընթացում նյութի հատկությունների տարբերությունների հետևանքով առաջացած տարբեր փորագրման արագությունները կդարձնեն տարբեր վայրերում կողային պատերի փորագրման խորությունը անհամապատասխան, ինչը ի վերջո կհանգեցնի կողային պատերի ճկմանը:
Սարքավորումների հետ կապված գործոններ
Օֆորտային սարքավորումների աշխատանքը և կարգավիճակը նույնպես կարևոր ազդեցություն ունեն օֆորտի արդյունքների վրա: Օրինակ, այնպիսի խնդիրներ, ինչպիսիք են պլազմայի անհավասար բաշխումը ռեակցիայի խցիկում և էլեկտրոդի անհավասար մաշվածությունը, կարող են հանգեցնել այնպիսի պարամետրերի անհավասար բաշխման, ինչպիսիք են իոնների խտությունը և էներգիան վաֆլի մակերեսի վրա փորագրման ընթացքում:
Բացի այդ, սարքավորումների անհավասար ջերմաստիճանի վերահսկումը և գազի հոսքի աննշան տատանումները կարող են ազդել նաև փորագրման միատեսակության վրա՝ հանգեցնելով կողային պատերի թեքմանը:
Հրապարակման ժամանակը՝ Dec-03-2024