Dual-Damascene-ը պրոցեսի տեխնոլոգիա է, որն օգտագործվում է ինտեգրալային սխեմաներում մետաղական փոխկապակցիչների արտադրության համար: Դա Դամասկոսի գործընթացի հետագա զարգացումն է։ Միևնույն գործընթացի ընթացքում անցքերով և ակոսներով միաժամանակ ձևավորվելով և դրանք մետաղով լցնելով, իրականացվում է մետաղական փոխկապակցիչների ինտեգրված արտադրություն:
Ինչու է այն կոչվում Դամասկոս:
Դամասկոս քաղաքը Սիրիայի մայրաքաղաքն է, և Դամասկոսի թուրերը հայտնի են իրենց սրությամբ և նուրբ հյուսվածքով: Պահանջվում է մի տեսակ ներկառուցման գործընթաց. նախ Դամասկոսի պողպատի մակերևույթի վրա փորագրվում է պահանջվող նախշը, իսկ նախապես պատրաստված նյութերը սերտորեն տեղադրվում են փորագրված ակոսների մեջ: Ներդիրի ավարտից հետո մակերեսը կարող է մի փոքր անհարթ լինել: Արհեստավորը խնամքով կփայլի այն, որպեսզի ապահովի ընդհանուր հարթությունը: Եվ այս գործընթացը չիպի կրկնակի Դամասկոսի գործընթացի նախատիպն է։ Դիէլեկտրիկ շերտի վրա նախ ակոսներ կամ անցքեր են փորագրվում, իսկ հետո դրանց մեջ մետաղ է լցնում։ Լրացնելուց հետո ավելորդ մետաղը կհեռացվի սմ.
Երկակի Դամասկեն գործընթացի հիմնական քայլերը ներառում են.
▪ Դիէլեկտրիկ շերտի նստվածք.
Կիսահաղորդչի վրա դրեք դիէլեկտրիկ նյութի շերտ, ինչպիսին է սիլիցիումի երկօքսիդը (SiO2)վաֆլի.
▪ Ֆոտոլիտոգրաֆիա՝ նախշը սահմանելու համար.
Օգտագործեք ֆոտոլիտոգրաֆիա՝ դիէլեկտրական շերտի վրա միջանցքների և խրամուղիների նախշը սահմանելու համար:
▪Փորագրություն:
Շրջանակների և խրամուղիների նախշը փոխանցեք դիէլեկտրական շերտին չոր կամ թաց փորագրման գործընթացով:
▪ Մետաղի նստվածք.
Մետաղը, օրինակ՝ պղինձը (Cu) կամ ալյումինը (Al), տեղադրեք միջանցքներում և խրամատներում՝ մետաղական փոխկապակցումներ ձևավորելու համար:
▪ Քիմիական մեխանիկական փայլեցում.
Մետաղական մակերեսի քիմիական մեխանիկական փայլեցում՝ ավելորդ մետաղը հեռացնելու և մակերեսը հարթեցնելու համար։
Համեմատած ավանդական մետաղական փոխկապակցման արտադրության գործընթացի հետ, երկակի դամասկենային պրոցեսն ունի հետևյալ առավելությունները.
▪Պարզեցված գործընթացի քայլեր.Միևնույն գործընթացի փուլում միաժամանակ ձևավորելով միջանցքներ և խրամատներ, կրճատվում են գործընթացի քայլերը և արտադրության ժամանակը:
▪Բարելավված արտադրական արդյունավետություն.Գործընթացի քայլերի կրճատման շնորհիվ երկակի դամասկի գործընթացը կարող է բարելավել արտադրության արդյունավետությունը և նվազեցնել արտադրության ծախսերը:
▪Բարելավել մետաղական փոխկապակցվածների աշխատանքը.Կրկնակի Դամասկեն գործընթացը կարող է հասնել ավելի նեղ մետաղական փոխկապակցման, դրանով իսկ բարելավելով սխեմաների ինտեգրումը և կատարումը:
▪Նվազեցնում է մակաբուծական հզորությունը և դիմադրությունը.օգտագործելով ցածր k-ով դիէլեկտրիկ նյութեր և օպտիմալացնելով մետաղական միացումների կառուցվածքը, մակաբուծական հզորությունը և դիմադրությունը կարող են կրճատվել՝ բարելավելով սխեմաների արագությունը և էներգիայի սպառման կատարումը:
Հրապարակման ժամանակը՝ նոյ-25-2024