SiC օքսիդացում-դիմացկուն ծածկույթը պատրաստվել է գրաֆիտի մակերեսի վրա CVD գործընթացով

SiC ծածկույթը կարող է պատրաստվել քիմիական գոլորշիների նստեցման (CVD), պրեկուրսորների փոխակերպման, պլազմայի ցողման և այլնի միջոցով: ՔԻՄԻԱԿԱՆ գոլորշիների նստեցմամբ պատրաստված ծածկույթը միատեսակ է և կոմպակտ և ունի լավ դիզայնի հնարավորություն: Օգտագործելով մեթիլ տրիքլոսիլան: (CHzSiCl3, MTS) որպես սիլիցիումի աղբյուր, CVD մեթոդով պատրաստված SiC ծածկույթը համեմատաբար հասուն մեթոդ է այս ծածկույթի կիրառման համար:
SiC ծածկույթը և գրաֆիտը լավ քիմիական համատեղելիություն ունեն, նրանց միջև ջերմային ընդլայնման գործակիցի տարբերությունը փոքր է, SiC ծածկույթի օգտագործումը կարող է արդյունավետորեն բարելավել գրաֆիտի նյութի մաշվածության դիմադրությունը և օքսիդացման դիմադրությունը: Դրանցից ռեակցիայի վրա մեծ ազդեցություն ունեն ստոյխիոմետրիկ հարաբերակցությունը, ռեակցիայի ջերմաստիճանը, նոսրացման գազը, կեղտոտ գազը և այլ պայմաններ։

Ha1c68bb3ca114f94a010b3a9dbfb19f2E.jpg_480x480


Հրապարակման ժամանակը՝ 14-2022թ
WhatsApp առցանց զրույց!