Գոլորշի փուլային էպիտաքսիայի (VPE) գործընթացում պատվանդանի դերն է սատարել ենթաշերտը և ապահովել միատեսակ տաքացում աճի գործընթացում: Տարբեր տեսակի պատվանդանները հարմար են աճի տարբեր պայմանների և նյութական համակարգերի համար: Ստորև բերված են գոլորշու փուլում սովորաբար օգտագործվող պատվանդանների տեսակներըէպատաքսիա:
Բարելի պատվանդան
Տակառային պատվանդանները սովորաբար օգտագործվում են հորիզոնական կամ թեքված գոլորշի փուլային էպիտաքսի համակարգերում: Նրանք կարող են պահել ենթաշերտը և թույլ տալ գազը հոսել ենթաշերտի վրայով, ինչը օգնում է հասնել էպիտաքսիալ աճի:
Սկավառակ պատվանդան (ուղղահայաց պատվանդան)
Սկավառակի տեսքով պատվանդանները հարմար են ուղղահայաց գոլորշի փուլային էպիտաքսի համակարգերի համար, որոնցում ենթաշերտը տեղադրված է ուղղահայաց: Այս դիզայնը օգնում է նվազեցնել շփման տարածքը ենթաշերտի և ընկալիչի միջև՝ դրանով իսկ նվազեցնելով ջերմության կորուստը և հնարավոր աղտոտումը:
Հորիզոնական ընկալիչ
Հորիզոնական ընկալիչները քիչ տարածված են գոլորշիների փուլային էպիտաքսիայում, բայց կարող են օգտագործվել որոշ հատուկ աճի համակարգերում, որպեսզի թույլատրեն էպիտաքսիալ աճը հորիզոնական ուղղությամբ:
Մոնոլիտ էպիտաքսիալ ռեակցիայի ընկալիչ
Մոնոլիտ էպիտաքսիալ ռեակցիայի ընկալիչը նախատեսված է մեկ սուբստրատի համար, որը կարող է ապահովել ավելի ճշգրիտ ջերմաստիճանի վերահսկում և ավելի լավ ջերմամեկուսացում, որը հարմար է բարձրորակ էպիտաքսիալ շերտերի աճի համար:
Բարի գալուստ մեր կայք՝ ապրանքի վերաբերյալ տեղեկատվության և խորհրդատվության համար:
Մեր կայքը՝ https://www.vet-china.com/
Տեղադրման ժամանակը՝ հուլիս-30-2024