Երբ սիլիցիումի կարբիդի բյուրեղը աճում է, բյուրեղի առանցքային կենտրոնի և եզրի միջև աճի միջերեսի «միջավայրը» տարբեր է, այնպես որ ծայրի վրա բյուրեղային լարվածությունը մեծանում է, և բյուրեղի եզրը հեշտ է առաջացնել «համապարփակ թերություններ» Գրաֆիտի կանգառի օղակի «ածխածնի» ազդեցությանը, թե ինչպես լուծել եզրային խնդիրը կամ մեծացնել կենտրոնի արդյունավետ տարածքը (ավելի քան 95%) կարևոր տեխնիկական թեմա է:
Քանի որ մակրո արատները, ինչպիսիք են «միկրոխողովակները» և «ներառումները», աստիճանաբար վերահսկվում են արդյունաբերության կողմից՝ մարտահրավեր նետելով սիլիցիումի կարբիդի բյուրեղներին «աճել արագ, երկար և հաստ և մեծանալ», եզրային «համապարփակ թերությունները» աննորմալ ընդգծված են, և Սիլիցիումի կարբիդի բյուրեղների տրամագծի և հաստության ավելացումը, եզրային «համապարփակ թերությունները» կբազմապատկվեն տրամագծի քառակուսիով և հաստությամբ:
Տանտալի կարբիդի TaC ծածկույթի օգտագործումը եզրերի խնդիրը լուծելու և բյուրեղների աճի որակը բարելավելու համար է, որը «արագ աճելու, հաստանալու և մեծանալու» հիմնական տեխնիկական ուղղություններից մեկն է:Արդյունաբերության տեխնոլոգիայի զարգացմանը նպաստելու և հիմնական նյութերի «ներմուծման» կախվածությունը լուծելու համար Hengpu-ն բեկումնային լուծում է գտել տանտալի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիան (CVD) և հասել միջազգային առաջադեմ մակարդակի:
Տանտալի կարբիդի TaC ծածկույթը, իրացման տեսանկյունից դժվար չէ, սինթերինգով, CVD-ով և այլ մեթոդներով հեշտ է հասնել:Պղտորման մեթոդը, տանտալի կարբիդի փոշու կամ պրեկուրսորի օգտագործումը, ակտիվ բաղադրիչների (ընդհանուր առմամբ մետաղի) և կապող նյութի (ընդհանուր առմամբ երկար շղթայի պոլիմեր) ավելացումը, որը պատված է բարձր ջերմաստիճանում սինթրած գրաֆիտի հիմքի մակերեսին:CVD մեթոդով TaCl5+H2+CH4-ը նստեցվել է գրաֆիտային մատրիցայի մակերեսին 900-1500℃ ջերմաստիճանում:
Այնուամենայնիվ, հիմնական պարամետրերը, ինչպիսիք են տանտալի կարբիդի նստվածքի բյուրեղային կողմնորոշումը, շերտի միատեսակ հաստությունը, ծածկույթի և գրաֆիտի մատրիցայի միջև սթրեսի ազատումը, մակերեսային ճաքերը և այլն, չափազանց դժվար են:Հատկապես բյուրեղային աճի միջավայրում կայուն ծառայության ժամկետը հիմնական պարամետրն է, ամենադժվարը:
Հրապարակման ժամանակը՝ Հուլիս-21-2023