Az ionbombázás egyenetlensége
Szárazrézkarcáltalában fizikai és kémiai hatásokat ötvöző eljárás, amelyben az ionbombázás fontos fizikai maratási módszer. alatt amaratási folyamat, az ionok beesési szöge és energiaeloszlása egyenetlen lehet.
Ha az ion beesési szöge az oldalfal különböző pontjain eltérő, az ionok oldalfalra gyakorolt maratási hatása is eltérő lesz. Nagyobb ionbeesési szögű területeken az ionok oldalfalra gyakorolt marató hatása erősebb, aminek következtében az oldalfal ezen a területen jobban maratódik, ami az oldalfal meggörbülését okozza. Ezenkívül az ionenergia egyenetlen eloszlása is hasonló hatásokat vált ki. A nagyobb energiájú ionok hatékonyabban tudják eltávolítani az anyagokat, ami következetlenséget eredményezrézkarcaz oldalfal különböző pozícióiban, ami viszont az oldalfal meggörbülését okozza.
A fotoreziszt hatása
A fotoreziszt a maszk szerepét tölti be a száraz maratáshoz, megvédi azokat a területeket, amelyeket nem kell maratni. A fotorezisztet azonban plazmabombázás és kémiai reakciók is befolyásolják a maratási folyamat során, és a teljesítménye változhat.
Ha a fotoreziszt vastagsága egyenetlen, a fogyasztás mértéke a maratási folyamat során inkonzisztens, vagy a fotoreziszt és a hordozó közötti tapadás különböző helyeken eltérő, az oldalfalak egyenetlen védelmét eredményezheti a maratási folyamat során. Például a vékonyabb fotoreziszt vagy gyengébb adhéziójú területek az alatta lévő anyagot könnyebben marathatják, amitől az oldalfalak ezeken a helyeken meghajlanak.
Különbségek az aljzat anyag tulajdonságaiban
Maga a maratott hordozóanyag különböző tulajdonságokkal rendelkezhet, például eltérő kristályorientációval és adalékolási koncentrációkkal a különböző régiókban. Ezek a különbségek befolyásolják a maratási sebességet és a maratási szelektivitást.
Például a kristályos szilíciumban a szilícium atomok különböző kristályorientációjú elrendezése eltérő, valamint reakciókészségük és maratási sebességük a maratógázzal is eltérő lesz. A maratási folyamat során az anyagtulajdonságok különbségeiből adódó eltérő maratási sebesség miatt az oldalfalak maratási mélysége a különböző helyeken inkonzisztens lesz, ami végső soron az oldalfal meghajlásához vezet.
Berendezéssel kapcsolatos tényezők
A maratóberendezés teljesítménye és állapota szintén fontos hatással van a maratási eredményekre. Például az olyan problémák, mint az egyenetlen plazmaeloszlás a reakciókamrában és az egyenetlen elektródakopás, olyan paraméterek egyenetlen eloszlásához vezethetnek, mint az ionsűrűség és az energia a lapka felületén a maratás során.
Ezenkívül a berendezés egyenetlen hőmérséklet-szabályozása és a gázáramlás enyhe ingadozása szintén befolyásolhatja a maratási egyenletességet, ami az oldalfal meghajlásához vezethet.
Feladás időpontja: 2024. december 03