Szilícium-karbid bevonat,A szilícium-karbid bevonat olyan eljárásra vonatkozik, amely szilícium-karbid réteget visz fel a felületekre olyan módszerekkel, mint a kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD), a fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD) vagy a hőpermetezés. Ez a szilícium-karbid kerámia bevonat javítja a különböző szubsztrátumok felületi tulajdonságait azáltal, hogy kivételes kopásállóságot, hőstabilitást és korrózióvédelmet biztosít. A SiC kiemelkedő fizikai és kémiai tulajdonságairól ismert, beleértve a magas olvadáspontot (körülbelül 2700 ℃), az extrém keménységet (Mohs-skála 9), a kiváló korrózió- és oxidációs ellenállást, valamint a kivételes ablációs teljesítményt.
A szilícium-karbid bevonat fő előnyei ipari alkalmazásokban
Ezeknek a tulajdonságoknak köszönhetően a szilícium-karbid bevonatot széles körben használják olyan területeken, mint a repülés, a fegyverek és a félvezető feldolgozás. Szélsőséges környezetben, különösen az 1800-2000 ℃ tartományban, a SiC bevonat figyelemre méltó hőstabilitást és ablatív ellenállást mutat, így ideális magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz. A szilícium-karbid azonban önmagában nem rendelkezik a sok alkalmazáshoz szükséges szerkezeti integritással, ezért bevonási módszereket alkalmaznak egyedi tulajdonságainak kiaknázására anélkül, hogy az alkatrész szilárdságát veszélyeztetnék. A félvezetőgyártásban a szilícium-karbid bevonatú elemek megbízható védelmet és teljesítménystabilitást biztosítanak a MOCVD-eljárásokban használt berendezéseken belül.
A szilícium-karbid bevonat elkészítésének általános módszerei
Ⅰ● Kémiai gőzleválasztás (CVD) szilícium-karbid bevonat
Ebben a módszerben a SiC bevonatokat úgy alakítják ki, hogy szubsztrátumokat helyeznek el egy reakciókamrában, ahol a metil-triklór-szilán (MTS) prekurzorként működik. Ellenőrzött körülmények között – jellemzően 950-1300°C és negatív nyomás – az MTS bomlik, és szilícium-karbid rakódik le a felületre. Ez a CVD SiC bevonási eljárás sűrű, egyenletes bevonatot biztosít kiváló tapadóképességgel, amely ideális a nagy pontosságú alkalmazásokhoz a félvezető- és repülőgépiparban.
Ⅱ● Prekurzor átalakítási módszer (polimer impregnálás és pirolízis – PIP)
Egy másik hatékony szilícium-karbid permetezési módszer a prekurzor átalakítási módszer, amely magában foglalja az előkezelt minta kerámia prekurzor oldatba való merítését. Az impregnálótartály vákuumozása és a bevonat nyomás alá helyezése után a mintát felmelegítik, ami hűtéskor szilícium-karbid bevonat képződéséhez vezet. Ez a módszer az egyenletes bevonatvastagságot és fokozott kopásállóságot igénylő alkatrészek esetében előnyös.
A szilícium-karbid bevonat fizikai tulajdonságai
A szilícium-karbid bevonatok olyan tulajdonságokkal rendelkeznek, amelyek ideálissá teszik őket az igényes ipari alkalmazásokhoz. Ezek a tulajdonságok a következők:
Hővezetőképesség: 120-270 W/m·K
Hőtágulási együttható: 4,3 × 10^(-6)/K (20-800 ℃-on)
Elektromos ellenállás: 10^5– 10^6Ω·cm
Keménység: Mohs-skála 9
A szilícium-karbid bevonat alkalmazásai
A félvezetőgyártásban a szilícium-karbid bevonat a MOCVD-hez és más magas hőmérsékletű folyamatokhoz védi a kritikus berendezéseket, például a reaktorokat és a szuszceptorokat, mivel magas hőmérsékleti ellenállást és stabilitást biztosít. A repülésben és a védelemben szilícium-karbid kerámia bevonatokat alkalmaznak azokra az alkatrészekre, amelyeknek ellenállniuk kell a nagy sebességű behatásoknak és a korrozív környezeteknek. Ezenkívül a szilícium-karbid festék vagy bevonat olyan orvosi eszközökön is használható, amelyek tartósságot igényelnek a sterilizálási eljárások során.
Miért válassza a szilícium-karbid bevonatot?
A szilícium-karbid bevonatok, amelyek bizonyítottan meghosszabbítják az alkatrészek élettartamát, páratlan tartósságot és hőmérséklet-stabilitást biztosítanak, így költséghatékonyak a hosszú távú használatra. A szilícium-karbid bevonatú felület választásával az iparágak profitálnak az alacsonyabb karbantartási költségekből, a berendezések nagyobb megbízhatóságából és a jobb működési hatékonyságból.
Miért válassza a VET ENERGY-et?
A VET ENERGY a szilícium-karbid bevonat termékek professzionális gyártója és gyára Kínában. A fő SiC bevonat termékek közé tartozik a szilícium-karbid kerámia bevonat fűtő,CVD szilícium-karbid bevonat MOCVD szuszceptor, MOCVD grafit hordozó CVD SiC bevonattal, SiC bevonatú grafit alaphordozók, Szilícium-karbid bevonatú grafit hordozó félvezetőhöz,SiC bevonat/bevonatos grafit hordozó/tálca félvezetőhöz, CVD SiC bevonatú szén-szén kompozit CFC csónakforma. A VET ENERGY elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára. Őszintén reméljük, hogy hosszú távú partnere leszünk Kínában.
Feladás időpontja: 2023.02.02