A gőzfázisú epitaxiás (VPE) folyamat során a talapzat szerepe az, hogy megtámasztja az aljzatot és egyenletes melegítést biztosítson a növekedési folyamat során. A különböző típusú talapzatok különböző növekedési feltételekhez és anyagrendszerekhez alkalmasak. Az alábbiakban néhány általánosan használt, gőzfázisú talapzattípust mutatunk beepitaxia:
Hordó talapzat
A hordótalapzatokat általában vízszintes vagy döntött gőzfázisú epitaxiás rendszerekben használják. Meg tudják tartani a hordozót, és lehetővé teszik a gáz átáramlását a hordozón, ami elősegíti az egyenletes epitaxiális növekedést.
Korong alakú talapzat (függőleges talapzat)
A korong alakú talapzatok alkalmasak függőleges gőzfázisú epitaxiás rendszerekhez, amelyekben a szubsztrát függőlegesen van elhelyezve. Ez a kialakítás segít csökkenteni a szubsztrát és a szuszceptor közötti érintkezési felületet, ezáltal csökkenti a hőveszteséget és az esetleges szennyeződést.
Vízszintes szuszceptor
A vízszintes szuszceptorok kevésbé gyakoriak a gőzfázisú epitaxiában, de bizonyos specifikus növekedési rendszerekben használhatók, hogy lehetővé tegyék az epitaxiális növekedést vízszintes irányban.
Monolit epitaxiális reakció-szuceptor
A monolitikus epitaxiális reakciószuszceptor egyetlen szubsztrátumhoz készült, amely precízebb hőmérsékletszabályozást és jobb hőszigetelést biztosít, alkalmas jó minőségű epitaxiális rétegek növekedésére.
Üdvözöljük weboldalunkon termékinformációkért és tanácsadásért.
Weboldalunk: https://www.vet-china.com/
Feladás időpontja: 2024. július 30