Tantal carbure kouvwi susceptor pou wafer

Deskripsyon kout:

Semicera se yon lidè nan teknoloji pwoteksyon materyèl tanperati ki wo e nou fyè dèske nou prezante pwodwi kouch CVD Tantal Carbide (TaC) pou bay pwoteksyon serye tanperati wo pou substrats grafit ou yo.Graphite se yon ekselan materyèl ki reziste tanperati ki wo, men li gen tandans oksidasyon nan tanperati ki wo, ki pa ka konplètman evite menm nan yon gwo founo vakyòm.Kouch CVD Tantal Carbide (TaC) nou an ka efektivman anpeche oksidasyon substra grafit la pandan w ap kenbe pèfòmans ekselan tanperati wo li yo.TaC se tou yon materyèl inaktif ki ka reziste reyaksyon ak gaz tankou agon ak idwojèn.Konsilte Semicera jodi a pou aprann plis sou tantal Carbide CVD kouvwi EPI susceptors nou yo pou asire estabilite ak fyab aplikasyon pou tanperati wo ou yo.


Pwodwi detay

Tags pwodwi

Kouch TaC se yon kalite kouch carbure Tantal (TaC) prepare pa teknoloji depozisyon fizik vapè, li gen karakteristik sa yo:

1. Segondè dite: TaC dite kouch se wo, anjeneral ka rive nan 2500-3000HV, se yon ekselan kouch difisil.

2. Mete rezistans: TaC kouch trè reziste, sa ki ka efektivman diminye mete ak domaj nan pati mekanik pandan w ap itilize.

3. Bon rezistans tanperati ki wo: TaC kouch kapab tou kenbe pèfòmans ekselan li yo anba anviwònman tanperati ki wo.

4. Bon estabilite chimik: TaC kouch gen bon estabilite chimik epi li ka reziste anpil reyaksyon chimik, tankou asid ak baz.

6 (3)
Tantal Carbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Pwopriyete fizik nan TaC kouch

密度/ Dansite

14.3 (g/cm³)

比辐射率 / Emisyon espesifik

0.3

热膨胀系数 / Koefisyan ekspansyon tèmik

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Dite (HK)

2000 HK

电阻 / Rezistans

1×10-5 Ohm * cm

热稳定性 / Estabilite tèmik

<2500℃

石墨尺寸变化 / Gwosè grafit chanje

-10 ~ -20um

涂层厚度 / Kouch epesè

≥20um valè tipik (35um±10um)

 

Ningbo VET Enèji Teknoloji co, Ltd se yon antrepriz gwo teknoloji ki konsantre sou pwodiksyon ak lavant de-wo fen materyèl avanse, materyèl yo ak teknoloji ki kouvri grafit, carbure Silisyòm, seramik, tretman sifas ak sou sa.Pwodwi yo lajman ki itilize nan fotovoltaik, semi-conducteurs, nouvo enèji, metaliji, elatriye.

Ekip teknik nou an soti nan tèt enstitisyon rechèch domestik, ka bay plis solisyon materyèl pwofesyonèl pou ou.

Byenveni ou vizite faktori nou an, se pou nou gen plis diskisyon!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Previous:
  • Pwochen:

  • Chat sou entènèt WhatsApp!