Poukisa flan yo pliye pandan grave sèk?

Ki pa inifòmite nan bonbadman ion

Sèkgravese anjeneral yon pwosesis ki konbine efè fizik ak chimik, nan ki bonbadman ion se yon metòd grav fizik enpòtan. Pandan anpwosesis grave, ang ensidan an ak distribisyon enèji nan iyon ka inegal.

Si ang ensidan an ion diferan nan diferan pozisyon sou flan an, efè grave iyon sou flan an ap diferan tou. Nan zòn ki gen pi gwo ang ensidan ion, efè a grave nan iyon sou flan an pi fò, ki pral lakòz flan an nan zòn sa a yo dwe grave plis, sa ki lakòz flan an pliye. Anplis de sa, distribisyon an inegal nan enèji ion pral pwodwi tou efè menm jan an. Iyon ki gen pi wo enèji ka retire materyèl pi efikas, sa ki lakòz enkonsistangravedegre nan flan an nan diferan pozisyon, ki an vire lakòz flan an pliye.

Enfliyans nan fotorezist

Photoresist jwe wòl yon mask nan grave sèk, pwoteje zòn ki pa bezwen grave. Sepandan, fotorezist la tou afekte pa bonbadman plasma ak reyaksyon chimik pandan pwosesis la grave, ak pèfòmans li yo ka chanje.

Si epesè photoresist la se inegal, pousantaj konsomasyon pandan pwosesis la grave se enkonsistan, oswa adezyon ki genyen ant photoresist la ak substra a diferan nan diferan kote, li ka mennen nan pwoteksyon inegal nan flan yo pandan pwosesis la grave. Pou egzanp, zòn ki gen pi mens fotorezist oswa adezyon pi fèb ka fè materyèl ki kache a pi fasil grave, sa ki lakòz flan yo pliye nan kote sa yo.

Diferans nan pwopriyete materyèl substra

Materyèl substra grave tèt li ka gen pwopriyete diferan, tankou diferan oryantasyon kristal ak konsantrasyon dopan nan diferan rejyon. Diferans sa yo pral afekte to a grave ak selektivite grave.
Pou egzanp, nan Silisyòm cristalline, aranjman nan atòm Silisyòm nan diferan oryantasyon kristal diferan, ak reyaksyon yo ak pousantaj grave ak gaz la grave pral diferan tou. Pandan pwosesis la grave, pousantaj yo grave diferan ki te koze pa diferans ki genyen nan pwopriyete materyèl yo pral fè pwofondè a grave nan flan yo nan diferan kote enkonsistan, finalman mennen nan koube flan.

Faktè ki gen rapò ak ekipman yo

Pèfòmans ak estati ekipman grave a tou gen yon enpak enpòtan sou rezilta grave yo. Pou egzanp, pwoblèm tankou distribisyon plasma inegal nan chanm reyaksyon an ak mete elektwòd inegal ka mennen nan distribisyon inegal nan paramèt tankou dansite iyon ak enèji sou sifas la wafer pandan grave.

Anplis de sa, kontwòl tanperati inegal nan ekipman an ak fluctuations ti tay nan koule gaz ka afekte tou inifòmite nan grave, ki mennen nan koube sidewall.