0Ki sis sistèm yon sèl gwo founo kristal

Yon gwo founo kristal se yon aparèy ki sèvi ak yonaparèy chofaj grafitpou fonn materyèl Silisyòm polikristalin nan yon anviwònman gaz inaktif (agon) epi sèvi ak metòd Czochralski pou grandi kristal sèl ki pa disloke. Li se sitou konpoze de sistèm sa yo:

Sistèm transmisyon mekanik

Sistèm transmisyon mekanik la se sistèm operasyon debaz nan gwo fou a kristal sèl, ki se sitou responsab pou kontwole mouvman an nan kristal akkreze, ki gen ladan leve a ak wotasyon nan kristal pitit pitit ak leve a ak wotasyon nankreze. Li ka avèk presizyon ajiste paramèt tankou pozisyon, vitès ak ang wotasyon kristal ak kreze pou asire pwogrè lis nan pwosesis kwasans kristal. Pou egzanp, nan diferan etap kwasans kristal tankou simen, kou, zepòl, kwasans egal dyamèt ak tailing, mouvman an nan kristal grenn ak kreze bezwen kontwole avèk presizyon pa sistèm sa a pou satisfè kondisyon pwosesis yo nan kwasans kristal.

Sistèm kontwòl tanperati chofaj

Sa a se youn nan sistèm debaz yo nan gwo fou a kristal sèl, ki itilize pou jenere chalè ak kontwole avèk presizyon tanperati a nan gwo fou a. Li se sitou konpoze de eleman tankou aparèy chofaj, detèktè tanperati, ak kontwolè tanperati. Se aparèy chofaj la anjeneral te fè nan materyèl tankou grafit-wo pite. Apre yo fin transfòme aktyèl la altène ak redwi pou ogmante aktyèl la, aparèy chofaj la jenere chalè pou fonn materyèl polikristalin tankou polysilicon nan crucible a. Capteur tanperati a kontwole chanjman tanperati yo nan gwo fou a an tan reyèl epi li transmèt siyal tanperati a bay kontwolè tanperati a. Kontwolè tanperati a avèk presizyon kontwole pouvwa chofaj la dapre paramèt tanperati yo mete ak siyal tanperati fidbak la, kidonk kenbe estabilite tanperati a nan gwo founo dife a epi bay yon anviwònman tanperati apwopriye pou kwasans kristal.

Sistèm vakyòm

Fonksyon prensipal sistèm vakyòm lan se kreye epi kenbe yon anviwònman vakyòm nan gwo fou a pandan pwosesis kwasans kristal la. Lè a ak gaz enpurte nan gwo founo dife yo ekstrè nan ponp vakyòm ak lòt ekipman pou fè presyon gaz la nan gwo fou a rive nan yon nivo ki ba anpil, jeneralman anba a 5TOR (torr). Sa ka anpeche materyèl Silisyòm nan soksid nan tanperati ki wo epi asire pite ak bon jan kalite kwasans kristal. An menm tan an, anviwònman an vakyòm se tou fezab pou retire enpurte temèt ki te pwodwi pandan pwosesis kwasans kristal la ak amelyore kalite kristal la.

Sistèm Agon

Sistèm Agon an jwe yon wòl nan pwoteje ak reglemante presyon an nan gwo fou a nan gwo fou a kristal sèl. Apre vakyòm, gaz Agon pite-wo (pite dwe pi wo a 6 9) ranpli nan gwo fou a. Sou yon bò, li ka anpeche lè deyò antre nan gwo founo dife a epi anpeche materyèl Silisyòm yo te soksid; nan lòt men an, ranpli nan gaz Agon ka kenbe presyon an nan gwo fou a ki estab epi bay yon anviwònman presyon apwopriye pou kwasans kristal. Anplis de sa, koule nan gaz Agon kapab tou retire chalè ki te pwodwi pandan pwosesis kwasans kristal la, jwe yon wòl refwadisman sèten.

Sistèm refwadisman dlo

Fonksyon an nan sistèm refwadisman dlo a se refwadi divès kalite konpozan wo-tanperati nan gwo fou a kristal sèl asire operasyon an nòmal ak lavi sèvis nan ekipman an. Pandan operasyon an nan gwo fou a kristal sèl, aparèy chofaj la,kreze, elektwòd ak lòt konpozan pral jenere anpil chalè. Si yo pa refwadi nan tan, ekipman an ap chofe, defòme oswa menm domaje. Sistèm refwadisman dlo a retire chalè konpozan sa yo nan sikile dlo refwadisman pou kenbe tanperati ekipman an nan yon seri sekirite. An menm tan an, sistèm refwadisman dlo a ka ede tou nan ajiste tanperati a nan gwo founo dife a pou amelyore presizyon kontwòl tanperati a.

Sistèm kontwòl elektrik

Sistèm kontwòl elektrik la se "sèvo" nan yon sèl kristal gwo founo dife a, ki responsab pou kontwole ak kontwole operasyon an nan ekipman an antye. Li ka resevwa siyal ki soti nan divès kalite detèktè, tankou detèktè tanperati, detèktè presyon, detèktè pozisyon, elatriye, epi kowòdone ak kontwole sistèm transmisyon mekanik la, sistèm kontwòl tanperati chofaj, sistèm vakyòm, sistèm agon ak sistèm refwadisman dlo ki baze sou siyal sa yo. Pou egzanp, pandan pwosesis kwasans kristal la, sistèm kontwòl elektrik la ka otomatikman ajiste pouvwa a chofaj dapre siyal tanperati a nouri pa Capteur tanperati a; dapre kwasans lan nan kristal la, li ka kontwole vitès la mouvman ak ang wotasyon nan kristal la pitit pitit ak kreze. An menm tan an, sistèm kontwòl elektrik la tou gen dyagnostik fay ak fonksyon alam, sa ki ka detekte kondisyon nòmal nan ekipman an nan tan epi asire operasyon an san danje nan ekipman an.