Graphite ak kouch TaC

I. Eksplorasyon paramèt pwosesis

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar sistèm

2. Tanperati depo:

Dapre fòmil tèrmodinamik la, li kalkile ke lè tanperati a pi gran pase 1273K, enèji gratis Gibbs nan reyaksyon an trè ba ak reyaksyon an relativman konplè. Reyaksyon konstan KP a se gwo anpil nan 1273K epi li ogmante rapidman ak tanperati a, ak to kwasans lan piti piti ralanti nan 1773K.

Enfliyans sou mòfoloji sifas kouch la: Lè tanperati a pa apwopriye (twò wo oswa twò ba), sifas la prezante yon mòfoloji kabòn gratis oswa porositë ki lach.

(1) Nan tanperati ki wo, vitès mouvman atòm oswa gwoup reyaktif aktif yo twò vit, sa ki pral mennen nan distribisyon inegal pandan akimilasyon materyèl yo, ak zòn rich ak pòv yo pa ka fèt san pwoblèm, sa ki lakòz porositë.

(2) Gen yon diferans ant to reyaksyon piroliz alkan ak to rediksyon pentachloride Tantal. Kabòn piroliz la twòp epi li pa ka konbine avèk Tantal nan tan, sa ki lakòz sifas la vlope pa kabòn.

Lè tanperati a apwopriye, sifas la nanTaC kouchse dans.

TaCpatikil yo fonn ak total youn ak lòt, fòm kristal la konplè, ak fwontyè grenn jaden an tranzisyon fèt san pwoblèm.

3. Rapò idwojèn:

Anplis de sa, gen anpil faktè ki afekte bon jan kalite a kouch:

-Substrate sifas kalite

-Depo gaz jaden

-Degre inifòmite gaz réactif mélange

II. Defo tipik nanTantal carbure kouch

1. Kouch fann ak penti kap dekale

Lineyè ekspansyon tèmik koyefisyan lineyè CTE:

2. Analiz defo:

(1) Kòz:

(2) Metòd karakterizasyon

① Sèvi ak teknoloji difraksyon radyografi pou mezire souch rezidyèl la.

② Sèvi ak lwa Hu Ke a pou apwoksimatif estrès rezidyèl la.

(3) Fòmil ki gen rapò

3.Enhance konpatibilite mekanik kouch la ak substra a

(1) Kouch kwasans sifas nan plas

Reyaksyon tèmik depozisyon ak teknoloji difizyon TRD

Pwosesis sèl fonn

Senplifye pwosesis pwodiksyon an

Bese tanperati reyaksyon an

Pri relativman pi ba

Plis zanmitay anviwònman an

Apwopriye pou gwo echèl pwodiksyon endistriyèl

(2) Kouch tranzisyon konpoze

Pwosesis ko-depozisyon

CVDpwosesis

Multi-konpozan kouch

Konbine avantaj ki genyen nan chak eleman

Fleksiblman ajiste konpozisyon an kouch ak pwopòsyon

4. Reyaksyon tèmik depozisyon ak teknoloji difizyon TRD

(1) Mekanis reyaksyon

Teknoloji TRD yo rele tou pwosesis embedding, ki itilize sistèm asid borik-tantal pentoksid-sodyòm fliyò-bo oksid-bo carbure sistèm pou prepareTantal carbure kouch.

① Asid borik fonn fonn pentoksid Tantal;

② Pentoksid Tantal redwi a atòm Tantal aktif ak difize sou sifas grafit la;

③ Atòm Tantal aktif yo adsorbe sou sifas grafit la epi reyaji avèk atòm kabòn pou fòmeTantal carbure kouch.

(2) Kle reyaksyon

Kalite kouch carbure la dwe satisfè egzijans pou fòmasyon oksidasyon enèji gratis nan eleman ki fòme carbure la pi wo pase oksid bor.

Enèji gratis Gibbs nan carbure la ba ase (otreman, bor oswa borid ka fòme).

Tantal pentoksid se yon oksid net. Nan wo-tanperati fonn boraks, li ka reyaji ak oksid alkalin fò oksid sodyòm pou fòme tantalat sodyòm, kidonk diminye tanperati reyaksyon inisyal la.