Pandan pwosesis epitaksi faz vapè (VPE), wòl pedestal la se sipòte substra a epi asire chofaj inifòm pandan pwosesis kwasans lan. Diferan kalite pedestal yo apwopriye pou kondisyon kwasans diferan ak sistèm materyèl. Sa ki anba la yo se kèk nan kalite pedestal yo souvan itilize nan faz vapèepitaksi:
Pedestal barik
Pedestal barik yo souvan itilize nan sistèm epitaksi faz vapè orizontal oswa panche. Yo ka kenbe substra a epi pèmèt gaz la koule sou substra a, ki ede reyalize kwasans inifòm epitaxial.
Pedestal ki gen fòm disk (pèdestal vètikal)
Disk ki gen fòm pedestal yo apwopriye pou sistèm epitaksi vètikal vapè faz, nan ki substra a mete vètikal. Konsepsyon sa a ede diminye zòn kontak ant substra a ak susceptor la, kidonk diminye pèt chalè ak kontaminasyon potansyèl yo.
Sispèktè orizontal
Susceptor orizontal yo mwens komen nan epitaksi faz vapè, men yo ka itilize nan kèk sistèm kwasans espesifik pou pèmèt kwasans epitaxial nan yon direksyon orizontal.
Monolitik epitaxial reyaksyon susceptor
Monolitik epitaxial reyaksyon susceptor la fèt pou yon sèl substra, ki ka bay kontwòl tanperati pi egzak ak pi bon izolasyon tèmik, apwopriye pou kwasans kouch epitaxial-wo kalite.
Byenveni nan sit entènèt nou an pou enfòmasyon pwodwi ak konsiltasyon.
Sit entènèt nou an: https://www.vet-china.com/
Lè poste: 30-Jul-2024