Aplikasyon nan seramik carbure Silisyòm nan jaden an semi-conducteurs

Materyèl la pi pito pou pati presizyon nan machin fotolitografi

Nan jaden an semi-conducteurs,Silisyòm carbure seramikmateryèl yo pwensipalman itilize nan ekipman kle pou manifakti sikwi entegre, tankou tab travay carbure Silisyòm, ray gid,reflektè, mandrin pou aspirasyon seramik, bra, fanm k'ap pile disk, enstalasyon, elatriye pou machin litografi.

Silisyòm carbure pati seramikpou semi-conducteurs ak ekipman optik

● Silisyòm carbure seramik fanm k'ap pile disk. Si disk la fanm k'ap pile se te fè nan jete oswa asye kabòn, lavi sèvis li yo se kout ak koyefisyan ekspansyon tèmik li yo gwo. Pandan pwosesis la nan gaufre Silisyòm, espesyalman pandan gwo vitès fanm k'ap pile oswa polisaj, mete nan ak deformation tèmik nan disk la fanm k'ap pile fè li difisil asire plat la ak paralelis nan wafer la Silisyòm. Disk nan fanm k'ap pile te fè nan seramik carbure Silisyòm gen gwo dite ak mete ki ba, ak koyefisyan ekspansyon tèmik la se fondamantalman menm jan ak sa yo ki nan gauf Silisyòm, kidonk li ka tè ak poli nan gwo vitès.
● Silisyòm carbure aparèy seramik. Anplis de sa, lè silisyòm wafers yo pwodwi, yo bezwen sibi tretman chalè segondè-tanperati epi yo souvan transpòte lè l sèvi avèk enstalasyon carbure Silisyòm. Yo reziste chalè epi yo pa destriktif. Diamond-tankou kabòn (DLC) ak lòt kouch ka aplike sou sifas la pou amelyore pèfòmans, soulaje domaj wafer, epi anpeche kontaminasyon gaye.
● Silisyòm carbure worktable. Lè w pran tab travay la nan machin litografi a kòm yon egzanp, tab travay la se sitou responsab pou konplete mouvman ekspoze a, ki egzije gwo vitès, gwo kou, sis-degre-libète nano-nivo ultra-presizyon mouvman. Pou egzanp, pou yon machin litografi ak yon rezolisyon 100nm, yon presizyon kouvri nan 33nm, ak yon lajè liy nan 10nm, presizyon nan pwezante worktable oblije rive nan 10nm, mask-silikon wafer la similtane etap ak eskanè vitès yo se 150nm / s. ak 120nm / s respektivman, ak vitès la optik mask se tou pre 500nm / s, ak tab travay la oblije gen presizyon mouvman trè wo ak estabilite.

Dyagram chema tab travay la ak tab mikwo-mouvman (seksyon pasyèl)

● Silisyòm carbure seramik glas kare. Konpozan kle nan ekipman kle sikwi entegre tankou machin litografi gen fòm konplèks, dimansyon konplèks, ak estrikti ki lejè kre, ki fè li difisil pou prepare konpozan seramik carbure Silisyòm sa yo. Kounye a, manifaktirè endikap entènasyonal sikwi entegre, tankou ASML nan Netherlands, NIKON ak CANON nan Japon, sèvi ak yon gwo kantite materyèl tankou vè mikrokristalin ak kordierit pou prepare miwa kare, eleman debaz yo nan machin litografi, epi sèvi ak carbure Silisyòm. seramik yo prepare lòt konpozan estriktirèl pèfòmans-wo ak fòm senp. Sepandan, ekspè nan Lachin Building Materials Research Institute te itilize teknoloji preparasyon propriétaires pou reyalize preparasyon gwo-gwosè, ki gen fòm konplèks, trè lejè, ki konplètman fèmen Silisyòm carbure seramik miwa kare ak lòt konpozan estriktirèl ak fonksyonèl optik pou machin litografi.