Sputtering objektif yo itilize nan sikui entegre semi-conducteurs

Sputtering objektifyo sitou itilize nan endistri elektwonik ak enfòmasyon, tankou sikui entegre, depo enfòmasyon, ekspozisyon kristal likid, memwa lazè, aparèy kontwòl elektwonik, elatriye. Yo kapab tou itilize nan jaden an nan kouch vè, osi byen ke nan mete ki reziste. materyèl, segondè-tanperati rezistans korozyon,-wo fen pwodwi dekoratif ak lòt endistri yo.

Sputtering se youn nan teknik prensipal yo pou prepare materyèl fim mens.Li sèvi ak iyon ki te pwodwi pa sous iyon pou akselere ak total nan yon vakyòm pou fòme gwo vitès enèji reyon ion, bonbade sifas solid la, ak echanj enèji sinetik ant iyon ak atòm sifas solid. Atòm yo sou sifas solid la kite solid la epi yo depoze sou sifas substra a. Solid bonbade a se matyè premyè pou depoze fim mens pa sputtering, ki rele sib sputtering. Plizyè kalite materyèl fim mens sputtered yo te lajman itilize nan sikui entegre semi-conducteurs, medya anrejistreman, ekspozisyon plat-panèl ak kouch sifas materyo.

Pami tout endistri aplikasyon yo, endistri a semi-conducteurs gen kondisyon ki pi sevè bon jan kalite pou fim sib sputtering.High-pite metal sputtering objektif yo sitou itilize nan manifakti wafer ak pwosesis anbalaj avanse. Lè w pran fabrikasyon chip kòm yon egzanp, nou ka wè ke soti nan yon wafer Silisyòm nan yon chip, li bezwen ale nan 7 gwo pwosesis pwodiksyon, sètadi difizyon (pwosesis tèmik), Photo-litografi (Photo-litografi), Etch (Etch), Enplantasyon Ion (IonImplant), Kwasans fim mens (Depo Dielectric), Polisaj Chimik Mekanik (CMP), Metalizasyon (Metalizasyon) Pwosesis yo koresponn youn pa youn. Se sib la sputtering yo itilize nan pwosesis la nan "metalizasyon". Se sib la bonbade ak patikil segondè-enèji pa ekipman depo fim mens ak Lè sa a, yon kouch metal ak fonksyon espesifik fòme sou wafer nan Silisyòm, tankou kouch kondiktif, kouch baryè. Wait.Since pwosesis yo nan semi-conducteurs yo tout yo varye Lè sa a, kèk sitiyasyon okazyonèl yo bezwen pou verifye sistèm nan egziste kòrèkteman pou nou mande kèk kalite materyèl egare nan sèten etap nan pwodiksyon konfime efè yo.