Silisyòm Carbide kouvwi Graphite Susceptor pou dirije grave

Deskripsyon kout:

Silisyòm carbure susceptor pou dirije grave (SiC plato) se yon akseswar espesyal pou gwo twou san fon Silisyòm grave (ICP grave machin). konpayi asirans wafer, konnen tou kòm konpayi asirans wafer, konpayi asirans wafer Silisyòm, konnen tou kòm wafer pòch. Lajman itilize nan semi-conducteurs CVD ak vakyòm sputtering.


Pwodwi detay

Tags pwodwi

Silisyòm carbure kouvwi susceptor sea kleeleman yo itilize nan divès pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs.Nou itilize teknoloji patante nou an pou fè silisyòm carbure kouvwi susceptor lapite trè wo,bonkouchinifòmiteak yon lavi sèvis ekselan, osi byen kesegondè rezistans chimik ak pwopriyete estabilite tèmik.

Enèji VET se lamanifakti reyèl nan grafit Customized ak pwodwi carbure Silisyòm ak kouch CVD,ka baydivès kalitepati Customized pou endistri semi-conducteurs ak fotovoltaik. Oekip teknik nou an soti nan enstitisyon rechèch domestik pi wo yo, ka bay solisyon materyèl plis pwofesyonèlpou ou.

Nou kontinyèlman devlope pwosesis avanse pou bay materyèl ki pi avanse,epite travay soti yon teknoloji eksklizif patante, ki ka fè lyezon ki genyen ant kouch la ak substra a pi sere ak mwens tandans fè detachman.

Features nan pwodwi nou yo:

1. Rezistans oksidasyon tanperati ki wo jiska 1700.
2. pite anwo nan syèl la akinifòmite tèmik
3. Ekselan rezistans korozyon: asid, alkali, sèl ak reyaktif òganik.
4. Segondè dite, sifas kontra enfòmèl ant, patikil amann.
5. Pi long lavi sèvis ak plis dirab

CVD SiC薄膜基本物理性能

Pwopriyete fizik debaz CVD SiCkouch

性质 / Pwopriyete

典型数值 / Valè tipik

晶体结构 / Crystal Estrikti

FCC β faz多晶,主要为(111)取向

密度 / Dansite

3.21 g / cm³

硬度 / Dite

2500 维氏硬度(500g chaj)

晶粒大小 / Gwosè Grenn

2 ~ 10μm

纯度 / Pite chimik

99.99995%

热容 / Kapasite Chalè

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Tanperati sublimasyon

2700℃

抗弯强度 / Fòs Flexural

415 MPa RT 4-pwen

杨氏模量 / Modil Young

430 Gpa 4pt pliye, 1300 ℃

导热系数 / ThermalKonduktivite

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ekspansyon tèmik (CTE)

4.5 × 10-6K-1

1

2

Byenveni ou vizite faktori nou an, se pou nou gen plis diskisyon!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Previous:
  • Pwochen:

  • Chat sou entènèt WhatsApp!