CVD Silisyòm Carbide kouvwi Graphite bag

CVD Silisyòm Carbide kouvwi bag Graphite En Imaj

Deskripsyon kout:

VET Enèji Silisyòm Carbide kouvwi bag grafit se yon pwodwi pèfòmans segondè ki fèt pou bay pèfòmans konsistan ak serye sou yon peryòd pwolonje. Li gen super bon rezistans chalè ak inifòmite tèmik, pite segondè, rezistans ewozyon, fè li solisyon an pafè pou aplikasyon pou pwosesis wafer.

Voye imèl ba nou Telechaje kòm PDF

Pwodwi detay

Tags pwodwi

Pwopriyete tipik nan materyèl grafit baz:

Dansite aparan:	1.85 g/cm3
Rezistans elektrik:	11 μΩm
Fòs flexural:	49 MPa (500kgf/cm2)
Dite Shore:	58
Ash:	<5ppm
Kondiktivite tèmik:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Nou bay plizyè susceptor ak konpozan grafit pou tout réacteurs epitaksi aktyèl yo. Pwodwi nou yo gen ladan susceptor barik pou inite LPE, susceptor galèt pou inite LPE, CSD, ak Gemini, ak susceptor sèl-wafer pou inite aplike ak ASM.

Lè w konbine patenarya solid ak dirijan OEM, ekspètiz materyèl ak konesans fabrikasyon, vet ofri konsepsyon pi bon pou aplikasyon w lan.

Enèji VET se lamanifakti reyèl nan grafit Customized ak pwodwi carbure Silisyòm ak kouch CVD,ka baydivès kalitepati Customized pou endistri semi-conducteurs ak fotovoltaik. Oekip teknik nou an soti nan enstitisyon rechèch domestik pi wo yo, ka bay solisyon materyèl plis pwofesyonèlpou ou.

Features nan pwodwi nou yo:

1. Rezistans oksidasyon tanperati ki wo jiska 1700℃.
2. pite anwo nan syèl la akinifòmite tèmik
3. Ekselan rezistans korozyon: asid, alkali, sèl ak reyaktif òganik.
4. Segondè dite, sifas kontra enfòmèl ant, patikil amann.
5. Pi long lavi sèvis ak plis dirab

CVD SiC薄膜基本物理性能 Pwopriyete fizik debaz CVD SiCkouch
性质 / Pwopriyete	典型数值 / Valè tipik
晶体结构 / Crystal Estrikti	FCC β faz多晶，主要为（111）取向
密度 / Dansite	3.21 g / cm³
硬度 / Dite	2500 维氏硬度（500g chaj）
晶粒大小 / Gwosè Grenn	2 ~ 10μm
纯度 / Pite chimik	99.99995%
热容 / Kapasite Chalè	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Tanperati sublimasyon	2700℃
抗弯强度 / Fòs Flexural	415 MPa RT 4-pwen
杨氏模量 / Modil Young	430 Gpa 4pt pliye, 1300 ℃
导热系数 / ThermalKonduktivite	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansyon tèmik (CTE)	4.5 × 10^-6K^-1