TaC obloženi susceptor za opremu za epitaksiju

Kratki opis:

VET nudi specijalizirane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače. VET-ov vodeći proces premazivanja omogućuje premazima od tantal karbida (TaC) postizanje visoke čistoće, visoke temperaturne stabilnosti i visoke kemijske tolerancije, poboljšavajući kvalitetu proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva i produžujući životni vijek ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC prevlake od tantal karbida je za rješavanje problema rubova i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a VET je napravio proboj u tehnologiji prevlake tantal karbida (CVD), dostigavši ​​međunarodnu naprednu razinu.


Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Obložen TaCsupstrat je tanki film napravljen odtantal karbidmaterijal, koji se nanosi na površinu supstrata epitaksijalne opreme.TaC premazima mnoga izvrsna svojstva, što ga čini idealnim izborom.

TaC premaz je vrsta tantal karbida (TaC) premaza pripremljenog tehnologijom fizičkog taloženja parom, ima sljedeće karakteristike:

1. Visoka tvrdoća: Tvrdoća TaC premaza je visoka, obično može doseći 2500-3000HV, odličan je tvrdi premaz.

2. Otpornost na habanje: TaC premaz je vrlo otporan na habanje, što može učinkovito smanjiti trošenje i oštećenje mehaničkih dijelova tijekom uporabe.

3. Dobra otpornost na visoke temperature: TaC premaz također može zadržati svoje izvrsne performanse u okruženju visoke temperature.

4. Dobra kemijska stabilnost: TaC premaz ima dobru kemijsku stabilnost i može se oduprijeti mnogim kemijskim reakcijama, poput kiselina i baza.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fizička svojstva TaC premazivanje

密度/ Gustoća

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Specifična emisivnost

0.3

热膨胀系数 / Koeficijent toplinskog širenja

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Tvrdoća (HK)

2000 HK

电阻 / Otpor

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Toplinska stabilnost

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Promjena veličine grafita

-10~-20um

涂层厚度 / Debljina premaza

Tipična vrijednost ≥20um (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je visokotehnološko poduzeće koje se fokusira na proizvodnju i prodaju vrhunskih naprednih materijala, materijala i tehnologije koji pokrivaju grafit, silicijev karbid, keramiku, površinsku obradu i tako dalje. Proizvodi se široko koriste u fotonaponskoj industriji, poluvodiču, novoj energiji, metalurgiji itd.

Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu tvornicu, idemo dalje razgovarati!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Prethodna:
  • Sljedeći:

  • WhatsApp Online Chat!