Susceptorski disk presvučen silicijevim karbidom

Kratki opis:

VET Energy disk s vaferom obložen silicij-karbidom proizvod je visokih performansi dizajniran da pruži dosljednu i pouzdanu izvedbu tijekom duljeg razdoblja. Ima super dobru toplinsku otpornost i toplinsku ujednačenost, visoku čistoću, otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za aplikacije obrade pločica.


Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Pločasti disk od silicij karbida ključna je komponenta koja se koristi u različitim procesima proizvodnje poluvodiča. koristimo našu patentiranu tehnologiju kako bismo napravili sigurniji disk od silicijevog karbida s izuzetno visokom čistoćom, dobrom ujednačenošću premaza i izvrsnim životnim vijekom, kao i visokom kemijskom otpornošću i svojstvima toplinske stabilnosti.

VET Energy pravi je proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijevog karbida s različitim premazima kao što su SiC, TaC, pirolitički ugljik, stakleni ugljik itd., može isporučiti različite prilagođene dijelove za poluvodičku i fotonaponsku industriju. Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija, može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Kontinuirano razvijamo napredne procese kako bismo osigurali naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Fkarakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700.
2. Visoka čistoća itoplinska jednolikost
3. Izvrsna otpornost na koroziju: kiseline, lužine, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能

Osnovna fizikalna svojstva CVD SiCpremazivanje

性质 / Vlasništvo

典型数值 / Tipična vrijednost

晶体结构 / Kristalna struktura

FCC β faza多晶,主要为(111)取向

密度 / Gustoća

3,21 g/cm³

硬度 / Tvrdoća

2500 维氏硬度(500g opterećenja)

晶粒大小 / Veličina zrna

2~10 μm

纯度 / Kemijska čistoća

99,99995%

热容 / Kapacitet topline

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700 ℃

抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje

415 MPa RT 4 točke

杨氏模量 / Youngov modul

430 Gpa 4pt zavoj, 1300 ℃

导热系数 / ThermalProvodljivost

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Toplinska ekspanzija (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu tvornicu, idemo dalje razgovarati!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Prethodna:
  • Sljedeći:

  • WhatsApp Online Chat!