Susceptorski disk presvučen silicijevim karbidom

Pločasti prihvatni disk presvučen silicijevim karbidom Istaknuta slika

Kratki opis:

VET Energy disk s vaferom obložen silicij-karbidom proizvod je visokih performansi dizajniran da pruži dosljednu i pouzdanu izvedbu tijekom duljeg razdoblja. Ima super dobru otpornost na toplinu i toplinsku ujednačenost, visoku čistoću, otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za aplikacije obrade pločica.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmite kao PDF

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Pločasti disk od silicij karbida ključna je komponenta koja se koristi u različitim procesima proizvodnje poluvodiča. koristimo našu patentiranu tehnologiju kako bismo napravili sigurniji disk od silicijevog karbida s izuzetno visokom čistoćom, dobrom ujednačenošću premaza i izvrsnim životnim vijekom, kao i visokom kemijskom otpornošću i svojstvima toplinske stabilnosti.

VET Energy pravi je proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijevog karbida s različitim premazima kao što su SiC, TaC, pirolitički ugljik, stakleni ugljik itd., može isporučiti različite prilagođene dijelove za poluvodičku i fotonaponsku industriju. Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Kontinuirano razvijamo napredne procese kako bismo osigurali naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Fkarakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700℃.
2. Visoka čistoća itoplinska jednolikost
3. Izvrsna otpornost na koroziju: kiseline, lužine, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizikalna svojstva CVD SiCpremazivanje
性质 / Vlasništvo	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度（500g opterećenja）
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistoća	99,99995%
热容 / Kapacitet topline	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4 točke
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4pt zavoj, 1300 ℃
导热系数 / ThermalProvodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplinska ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1