SiC premaz/obložena grafitna podloga/ladica za poluvodiče

Kratki opis:

VET Energy Graphite Susceptor obložen SiC za epitaksijalni rast je proizvod visokih performansi dizajniran da pruži dosljednu i pouzdanu izvedbu tijekom duljeg razdoblja. Ima super dobru otpornost na toplinu i toplinsku ujednačenost, visoku čistoću, otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za aplikacije obrade pločica.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmite kao PDF

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

SiC premaz/prevučen grafitnim susceptorom za poluvodiče

TheSiC presvučena grafitna podlogaje vrlo izdržljivo i učinkovito rješenje dizajnirano da zadovolji stroge zahtjeve industrije obrade poluvodiča. Sadrži sloj visoke čistoćepremaz od silicijevog karbida (SiC)., ovaj supstrat pruža iznimnu toplinsku stabilnost, otpornost na oksidaciju i produljeni radni vijek, što ga čini idealnim za primjenu u MOCVD procesima, nosačima grafitnih pločica i drugim visokotemperaturnim okruženjima.

Značajke:
· Izvrsna otpornost na toplinski udar
· Izvrsna otpornost na fizičke udarce
· Izvrsna kemijska otpornost
· Super visoka čistoća
· Dostupnost u složenom obliku
·Upotrebljivo u oksidirajućoj atmosferi

Primjena:

Značajke i prednosti proizvoda:

1. Vrhunska toplinska otpornost:S visokom čistoćomSiC premaz, podloga podnosi ekstremne temperature, osiguravajući dosljednu izvedbu u zahtjevnim okruženjima kao što su epitaksija i proizvodnja poluvodiča.

2. Poboljšana izdržljivost:Grafitne komponente obložene SiC-om dizajnirane su da budu otporne na kemijsku koroziju i oksidaciju, produžujući životni vijek podloge u usporedbi sa standardnim grafitnim podlogama.

3. Grafit presvučen staklastim tijelom:Jedinstvena struktura staklastog tijelaSiC premazpruža izvrsnu površinsku tvrdoću, smanjujući trošenje i habanje tijekom obrade na visokim temperaturama.

4. SiC premaz visoke čistoće:Naš supstrat osigurava minimalnu kontaminaciju u osjetljivim poluvodičkim procesima, nudeći pouzdanost za industrije koje zahtijevaju strogu čistoću materijala.

5. Primjena na širokom tržištu:TheGrafitni suceptor obložen SiCtržište nastavlja rasti kako raste potražnja za naprednim proizvodima obloženim SiC-om u proizvodnji poluvodiča, pozicionirajući ovu podlogu kao ključnog igrača na tržištu nosača grafitnih pločica i tržištu grafitnih ladica presvučenih silicij karbidom.

Tipična svojstva osnovnog grafitnog materijala:

Prividna gustoća:	1,85 g/cm3
Električni otpor:	11 μΩm
Čvrstoća na savijanje:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdoća po Shoru:	58
Pepeo:	<5 ppm
Toplinska vodljivost:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizikalna svojstva CVD SiCpremazivanje
性质 / Vlasništvo	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza 多晶，主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度（500g opterećenja）
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistoća	99,99995%
热容 / toplinski kapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4 točke
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4pt zavoj, 1300 ℃
导热系数 / Toplinska vodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / toplinska ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy pravi je proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijevog karbida s različitim premazima kao što su SiC premaz, TaC premaz, stakleni ugljik, pirolitički ugljik itd., može isporučiti različite prilagođene dijelove za poluvodičku i fotonaponsku industriju.

Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Kontinuirano razvijamo napredne procese kako bismo osigurali naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu tvornicu, idemo dalje razgovarati!