Nejednolikost ionskog bombardiranja
Suhajetkanjeje obično proces koji kombinira fizičke i kemijske učinke, u kojem je ionsko bombardiranje važna fizička metoda jetkanja. Tijekomproces jetkanja, upadni kut i raspodjela energije iona mogu biti neravnomjerni.
Ako je upadni kut iona različit na različitim mjestima na bočnoj stijenci, učinak jetkanja iona na bočnoj stijenci također će biti različit. U područjima s većim kutovima upadanja iona, učinak jetkanja iona na bočnu stijenku je jači, što će uzrokovati da bočna stijenka u ovom području bude više urezana, uzrokujući savijanje bočne stijenke. Osim toga, neravnomjerna raspodjela energije iona također će proizvesti slične učinke. Ioni s većom energijom mogu učinkovitije ukloniti materijale, što rezultira nedosljednošćujetkanjestupnjeva bočne stijenke na različitim položajima, što zauzvrat uzrokuje savijanje bočne stijenke.
Utjecaj fotorezista
Fotorezist igra ulogu maske kod suhog jetkanja, štiteći područja koja nije potrebno jetkati. Međutim, na fotorezist također utječu bombardiranje plazmom i kemijske reakcije tijekom procesa jetkanja, pa se njegove performanse mogu promijeniti.
Ako je debljina fotorezista nejednaka, stopa potrošnje tijekom procesa jetkanja je nedosljedna ili je prianjanje između fotorezista i supstrata različito na različitim mjestima, to može dovesti do nejednake zaštite bočnih stijenki tijekom procesa jetkanja. Na primjer, područja s tanjim fotorezistom ili slabijim prianjanjem mogu uzrokovati lakše urezivanje temeljnog materijala, uzrokujući savijanje bočnih stijenki na tim mjestima.
Razlike u svojstvima materijala supstrata
Sam materijal ugravirane podloge može imati različita svojstva, kao što su različite orijentacije kristala i koncentracije dopinga u različitim regijama. Ove razlike će utjecati na brzinu jetkanja i selektivnost jetkanja.
Na primjer, u kristalnom siliciju, raspored atoma silicija u različitim orijentacijama kristala je različit, a njihova reaktivnost i brzina jetkanja plinom za jetkanje također će biti različiti. Tijekom procesa jetkanja, različite brzine jetkanja uzrokovane razlikama u svojstvima materijala učinit će dubinu jetkanja bočnih stijenki na različitim mjestima nedosljednom, što će u konačnici dovesti do savijanja bočnih stijenki.
Čimbenici povezani s opremom
Izvedba i status opreme za jetkanje također imaju važan utjecaj na rezultate jetkanja. Na primjer, problemi kao što su neravnomjerna distribucija plazme u reakcijskoj komori i neravnomjerno trošenje elektrode mogu dovesti do neravnomjerne raspodjele parametara kao što su gustoća iona i energija na površini ploče tijekom jetkanja.
Osim toga, neravnomjerna kontrola temperature opreme i male fluktuacije u protoku plina također mogu utjecati na ujednačenost jetkanja, što dovodi do savijanja bočne stijenke.
Vrijeme objave: 3. prosinca 2024