Što je sic premaz?

Silicij karbidje tvrdi spoj koji sadrži silicij i ugljik, a nalazi se u prirodi kao iznimno rijedak mineral moissanite. Čestice silicijevog karbida mogu se spojiti zajedno sinteriranjem u vrlo tvrdu keramiku, koja se naširoko koristi u primjenama koje zahtijevaju visoku izdržljivost, posebno u obradi poluvodiča.

Fizička struktura SiC

SiC premaz je gusti premaz od silicij karbida otporan na habanje s visokom otpornošću na koroziju i toplinu te izvrsnom toplinskom vodljivošću. Ovaj SiC premaz visoke čistoće prvenstveno se koristi u industriji poluvodiča i elektronike za zaštitu nosača pločica, baza i grijaćih elemenata od korozivnih i reaktivnih okolina. SiC premaz je također prikladan za vakuumske peći i zagrijavanje uzoraka u visokom vakuumu, reaktivnom okruženju i okruženju s kisikom.

SiC premaz visoke čistoće

Što je postupak prevlačenja SiC?

Tanki sloj silicijevog karbida nanosi se na površinu podloge pomoćuCVD (kemijsko taloženje parom). Taloženje se obično provodi na temperaturama od 1200-1300°C, a ponašanje materijala supstrata pri toplinskom širenju mora biti kompatibilno s SiC premazom kako bi se smanjio toplinski stres.

KRISTALNA STRUKTURA CVD SIC FILMA

CVD SIC prevlaka FILM KRISTALNA STRUKTURA

Fizička svojstva SiC premaza uglavnom se ogledaju u njegovoj otpornosti na visoke temperature, tvrdoći, otpornosti na koroziju i toplinskoj vodljivosti.

Tipični fizički parametri obično su sljedeći:

Tvrdoća: SiC premaz tipično ima Vickersovu tvrdoću u rasponu od 2000-2500 HV, što im daje izuzetno visoku otpornost na habanje i udarce u industrijskim primjenama.

Gustoća: SiC premazi obično imaju gustoću od 3,1-3,2 g/cm³. Visoka gustoća doprinosi mehaničkoj čvrstoći i trajnosti premaza.

Toplinska vodljivost: SiC premazi imaju visoku toplinsku vodljivost, obično u rasponu od 120-200 W/mK (pri 20°C). To mu daje dobru toplinsku vodljivost u okruženjima visoke temperature i čini ga posebno pogodnim za opremu za toplinsku obradu u industriji poluvodiča.

Talište: silicijev karbid ima talište od približno 2730°C i ima izvrsnu toplinsku stabilnost na ekstremnim temperaturama.

Koeficijent toplinskog širenja: SiC premazi imaju nizak linearni koeficijent toplinske ekspanzije (CTE), obično u rasponu od 4,0-4,5 µm/mK (u 25-1000 ℃). To znači da je njegova dimenzijska stabilnost izvrsna pri velikim temperaturnim razlikama.

Otpornost na koroziju: SiC premazi su izuzetno otporni na koroziju u jakim kiselinama, alkalijama i oksidirajućim okruženjima, posebno kada se koriste jake kiseline (kao što su HF ili HCl), njihova otpornost na koroziju daleko premašuje onu konvencionalnih metalnih materijala.

SiC premazi mogu se nanositi na sljedeće materijale:

Izostatski grafit visoke čistoće (niski CTE)
Volfram
Molibden
Silicij karbid
silicij nitrid
Ugljik-ugljik kompoziti (CFC)

Proizvodi presvučeni SiC-om obično se koriste u sljedećim područjima:

Proizvodnja LED čipova
Proizvodnja polisilicija
Poluvodičrast kristala
Silicij iSiC epitaksija
Toplinska obrada pločice i jetkanje

Zašto odabrati VET Energy?

VET Energy je vodeći proizvođač, inovator i lider proizvoda SiC premaza u Kini, glavni proizvodi SiC premaza uključujunosač pločice sa SiC premazom, presvučen SiC-omepitaksijalni susceptor, SiC presvučen grafitnim prstenom, Dijelovi polumjeseca sa SiC premazom, SiC presvučen ugljik-ugljik kompozit, Vafel brod presvučen SiC-om, Grijač presvučen SiC-omitd. VET Energy je predan pružanju vrhunske tehnologije i rješenja za proizvode poluvodičkoj industriji te podržava usluge prilagodbe. Iskreno se radujemo što ćemo biti vaš dugoročni partner u Kini.