Tijekom postupka epitaksije u parnoj fazi (VPE), uloga postolja je poduprijeti supstrat i osigurati ravnomjerno zagrijavanje tijekom procesa rasta. Različite vrste postolja prikladne su za različite uvjete rasta i sustave materijala. Slijede neke od najčešće korištenih vrsta postolja u fazi pareepitaksija:
Postolje bačve
Bačvasta postolja obično se koriste u vodoravnim ili nagnutim sustavima epitaksije u parnoj fazi. Oni mogu držati supstrat i omogućiti protok plina preko supstrata, što pomaže u postizanju ravnomjernog epitaksijalnog rasta.
Postolje u obliku diska (vertikalno postolje)
Postolja u obliku diska prikladna su za vertikalne sustave epitaksije u parnoj fazi, u kojima se supstrat postavlja okomito. Ovaj dizajn pomaže smanjiti kontaktnu površinu između podloge i suceptora, čime se smanjuje gubitak topline i potencijalna kontaminacija.
Horizontalni suceptor
Horizontalni suceptori rjeđi su u epitaksiji u fazi pare, ali se mogu koristiti u nekim specifičnim sustavima rasta kako bi se omogućio epitaksijski rast u horizontalnom smjeru.
Monolitni epitaksijalni reakcijski susceptor
Monolitni epitaksijalni reakcijski suceptor dizajniran je za jednu podlogu, koja može pružiti precizniju kontrolu temperature i bolju toplinsku izolaciju, pogodnu za rast visokokvalitetnih epitaksijalnih slojeva.
Dobrodošli na našu web stranicu za informacije o proizvodima i savjetovanje.
Naša web stranica: https://www.vet-china.com/
Vrijeme objave: 30. srpnja 2024