Mete za raspršivanjeuglavnom se koriste u elektroničkoj i informacijskoj industriji, kao što su integrirani krugovi, pohrana informacija, zasloni s tekućim kristalima, laserske memorije, elektronički upravljački uređaji itd. Također se mogu koristiti u području premazivanja stakla, kao i u otpornim na habanje materijali, otpornost na koroziju na visokim temperaturama, vrhunski dekorativni proizvodi i druge industrije.
Raspršivanje je jedna od glavnih tehnika za pripremu tankoslojnih materijala.Koristi ione koje generiraju ionski izvori za ubrzavanje i agregaciju u vakuumu kako bi formirali ionske zrake velike brzine, bombardirali čvrstu površinu i razmjenjivali kinetičku energiju između iona i atoma čvrste površine. Atomi na krutoj površini napuštaju krutinu i talože se na površini supstrata. Bombardirana krutina je sirovina za taloženje tankih filmova raspršivanjem, što se naziva meta raspršivanja. Različite vrste raspršenih tankoslojnih materijala široko su korištene u poluvodičkim integriranim krugovima, medijima za snimanje, ravnim zaslonima i površinskim premazima obratka.
Među svim industrijama primjene, industrija poluvodiča ima najstrože zahtjeve kvalitete za filmove za raspršivanje meta. Metalne mete za raspršivanje visoke čistoće uglavnom se koriste u proizvodnji pločica i naprednim procesima pakiranja. Uzimajući proizvodnju čipova kao primjer, možemo vidjeti da od silikonske pločice do čipa treba proći kroz 7 glavnih proizvodnih procesa, a to su difuzija (toplinski proces), fotolitografija (fotolitografija), jetkanje (jetkanje), Ionska implantacija (IonImplant), rast tankog filma (dielektrično taloženje), kemijsko mehaničko poliranje (CMP), metalizacija (metalizacija) Procesi odgovaraju jedan po jedan. Meta za raspršivanje koristi se u procesu "metalizacije". Meta se bombardira visokoenergetskim česticama pomoću opreme za taloženje tankog filma, a zatim se na silicijskoj ploči formira metalni sloj sa specifičnim funkcijama, kao što je vodljivi sloj, sloj barijere. Čekajte. Budući da se procesi cijelih poluvodiča razlikuju, potrebne su povremene situacije za provjeru ispravnog postojanja sustava, pa zahtijevamo neke vrste lažnih materijala u određenim fazama proizvodnje kako bismo potvrdili učinke.
Vrijeme objave: 17. siječnja 2022