VET EnergyPECVD procesni grafitni nosač je visokokvalitetni potrošni materijal prilagođen za PECVD (plazma poboljšano kemijsko taloženje iz pare) proces. Ovaj grafitni nosač izrađen je od grafitnog materijala visoke čistoće, visoke gustoće, s izvrsnom otpornošću na visoke temperature, otpornošću na koroziju, dimenzionalnom stabilnošću i drugim karakteristikama, može pružiti stabilnu platformu nosača za PECVD proces, kako bi se osigurala ujednačenost i ravnost tankog filma taloženje.
Grafitni nosači za PECVD proces imaju sljedeće karakteristike:
▪ Visoka čistoća: iznimno nizak sadržaj nečistoća, izbjegavanje kontaminacije filma i osiguravanje kvalitete filma.
▪ Visoka gustoća: visoka gustoća, visoka mehanička čvrstoća, može izdržati visoku temperaturu i visoki tlak PECVD okruženja.
▪ Dobra dimenzionalna stabilnost: mala dimenzionalna promjena na visokoj temperaturi, osigurava stabilnost procesa.
▪ Izvrsna toplinska vodljivost: učinkovito prenosi toplinu kako bi se spriječilo pregrijavanje pločice.
▪ Jaka otpornost na koroziju: može se oduprijeti eroziji različitim korozivnim plinovima i plazmom.
▪ Prilagođena usluga: grafitni nosači različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi prema potrebama kupaca.
Grafitni materijal iz SGL-a:
Tipični parametar: R6510 | |||
Indeks | Testni standard | Vrijednost | Jedinica |
Prosječna veličina zrna | ISO 13320 | 10 | μm |
Nasipna gustoća | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Otvorena poroznost | DIN66133 | 10 | % |
Srednje veličine pora | DIN66133 | 1.8 | μm |
Propusnost | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Specifični električni otpor | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Čvrstoća na savijanje | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Čvrstoća na pritisak | DIN 51910 | 130 | MPa |
Youngov modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Toplinska ekspanzija (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Toplinska vodljivost (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Posebno je dizajniran za visokoučinkovitu proizvodnju solarnih ćelija, podržava G12 obradu pločica velike veličine. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava propusnost, omogućujući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.
Artikal | Tip | Nosač napolitanki s brojem |
PEVCD Grephite brod - Serija 156 | 156-13 brod od grefita | 144 |
156-19 brod od grefita | 216 | |
156-21 brod od grefita | 240 | |
156-23 grafitni čamac | 308 | |
PEVCD Grephite brod - serija 125 | 125-15 brod od grefita | 196 |
125-19 brod od grefita | 252 | |
125-21 grfitni čamac | 280 |