Zahtjevi industrije poluvodiča grafitnih materijala su posebno visoki, fina veličina čestica grafita ima visoku preciznost, otpornost na visoke temperature, visoku čvrstoću, male gubitke i druge prednosti, kao što su: sinterirani grafitni proizvodi plijesni.Budući da grafitna oprema koja se koristi u industriji poluvodiča (uključujući grijače i njihove sinterirane kalupe) mora izdržati ponovljene procese zagrijavanja i hlađenja, kako bi se produžio životni vijek grafitne opreme, obično se zahtijeva da korišteni grafitni materijali imaju stabilne performanse i funkciju otpornosti na toplinu.
01 Grafitni pribor za rast kristala poluvodiča
Svi procesi koji se koriste za uzgoj poluvodičkih kristala rade pod visokom temperaturom i korozivnim okruženjem. Vruća zona peći za rast kristala obično je opremljena grafitnim komponentama visoke čistoće otpornim na toplinu i koroziju, kao što su grijač, lončić, izolacijski cilindar, vodeći cilindar, elektroda, držač lončića, matica elektrode itd.
U mogućnosti smo izraditi sve grafitne dijelove uređaja za proizvodnju kristala, koji se mogu isporučiti pojedinačno ili u setovima, ili prilagođene grafitne dijelove različitih dimenzija prema zahtjevima kupaca. Veličina proizvoda može se izmjeriti na licu mjesta, a sadržaj pepela gotovih proizvoda može biti manjiod 5 ppm.
02 Grafitni pribor za epitaksiju poluvodiča
Epitaksijalni proces odnosi se na rast sloja monokristalnog materijala s istim rasporedom rešetke kao supstrat na monokristalnom supstratu. U epitaksijalnom procesu, pločica se stavlja na grafitni disk. Izvedba i kvaliteta grafitnog diska igraju ključnu ulogu u kvaliteti epitaksijalnog sloja pločice. U području epitaksijalne proizvodnje potrebno je puno grafita ultravisoke čistoće i grafitne baze visoke čistoće sa SIC premazom.
Grafitna baza naše tvrtke za poluvodičku epitaksiju ima širok raspon primjena, može odgovarati većini opreme koja se obično koristi u industriji i ima visoku čistoću, jednoličan premaz, izvrstan radni vijek i visoku kemijsku otpornost i toplinsku stabilnost.
03 Grafitni pribor za ionsku implantaciju
Ionska implantacija odnosi se na proces ubrzavanja snopa plazme bora, fosfora i arsena do određene energije, a potom ubrizgavanja u površinski sloj materijala pločice kako bi se promijenila svojstva materijala površinskog sloja. Komponente uređaja za ionsku implantaciju moraju biti izrađene od materijala visoke čistoće s izvrsnom otpornošću na toplinu, toplinskom vodljivošću, manjom korozijom uzrokovanom ionskom zrakom i niskim sadržajem nečistoća. Grafit visoke čistoće zadovoljava zahtjeve primjene i može se koristiti za letnu cijev, razne proreze, elektrode, poklopce elektroda, vodove, terminatore snopa itd. opreme za ionsku implantaciju.
Ne samo da možemo ponuditi grafitni zaštitni pokrov za razne strojeve za ionsku implantaciju, već također nudimo grafitne elektrode visoke čistoće i izvore iona s visokom otpornošću na koroziju različitih specifikacija. Primjenjivi modeli: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM i druga oprema. Osim toga, također možemo ponuditi odgovarajuće proizvode od keramike, volframa, molibdena, aluminija i presvučene dijelove.
04 Grafitni izolacijski materijali i dr
Materijali za toplinsku izolaciju koji se koriste u opremi za proizvodnju poluvodiča uključuju grafitni tvrdi filc, meki filc, grafitnu foliju, grafitni papir i grafitno uže.
Sve naše sirovine su uvezeni grafit, koji se može rezati prema specifičnoj veličini prema zahtjevima kupaca ili prodati kao cjelina.
Ugljično-ugljična ladica koristi se kao nosač za oblaganje filmom u proizvodnom procesu solarnih ćelija od monokristalnog silicija i polikristalnog silicija. Princip rada je: umetnite silikonski čip u CFC ladicu i pošaljite ga u cijev peći za obradu filmskog premaza.
